판매용 중고 PSK Supra III #9281480

PSK Supra III는 자동 반도체 처리 응용 분야에 사용하도록 설계된 etcher/asher입니다. 고속, 고압, 비용 효율적인 에치/애쉬 솔루션입니다. 장비는 필수 수직 튜브로, 다중 영역 핫 존 (hot-zone hot zone), 회전 행성 에치/애쉬 챔버 및 자동 프로세스 제어 인터페이스로 구성됩니다. 이 시스템을 사용하면 에칭/어싱 프로세스 온도 및 시간을 정확하게 제어할 수 있습니다. 수직 튜브 퍼니스는 33.5 인치 직경의 공동을 특징으로하며 최대 온도 1220 ° C에 도달 할 수 있습니다. 용광로에는 전체 공정 튜브를 균일하게 가열하는 내부 가열 구역 1 개가 있습니다. 핫 존은 조절 가능한 전기 에너지 입력 및 독립적 인 온도 제어를 가진 3 개의 존으로 구성됩니다. 핫 존은 하위 영역, 중간 영역 및 상위 영역으로 구성됩니다. 핫 존은 처리 튜브 전체에서 균일 한 온도 분포를 제공합니다. 회전 행성 에치/애쉬 챔버는 최적의 에치/애쉬 프로파일을 제공하도록 설계되었습니다. 챔버 (Chamber) 는 다양한 기판 홀더를 보유한 회전 디스크로 구성되며, 최고 13.5 rpm까지 회전하며, 최대 303 mBar의 압력으로 작동 할 수 있습니다. 챔버 (chamber) 에는 에치/애쉬 프로파일 (etch/ash profile) 의 추가 균일성을 위해 사용될 수있는 온도가 조절되는 샤워의 자동 단위가 포함되어 있습니다. Supra III에는 에칭/어싱 프로세스를 완벽하게 제어하기 위해 완전히 자동화 된 프로세스 제어 인터페이스가 포함되어 있습니다. 이 인터페이스는 사전 조절 온도, etch/ash 유지 시간, 혈관 압력, 디스크 회전 속도, 샤워 온도 및 기타 매개변수와 같은 조정 가능한 매개변수를 설정할 수 있습니다. 또한, 이 인터페이스는 다양한 디스플레이 옵션을 통해 프로세스에 대한 포괄적인 뷰를 제공합니다. 이 인터페이스는 실시간 모니터링을 제공하며, 온라인 보고서를 생성하는 데 사용할 수 있습니다. PSK Supra III는 높은 처리량 자동화를 위한 이상적인 에치/애쉬 솔루션입니다. 자동화된 환경에서 일관되고 안정적인 성능을 제공합니다. 공정 온도 및 시간을 정확하게 제어함으로써, 기계는 반복 가능한 에치/애쉬 (etch/ash) 성능을 허용합니다. 이 도구의 유연성은 다양한 etch/ash 프로세스에 적합합니다.