판매용 중고 PSK Supra III PM #9402477

PSK Supra III PM은 PSK Corporation이 다양한 재료의 정밀 에칭 및 재싱을 위해 개발 한 고급 etcher/asher 장비입니다. 고급 독점 PlasmaShadow (tm) 플라즈마 소스와 다양한 특수 액세서리 및 기능을 갖추고 있습니다. PlasmaShadow 플라즈마 소스 (PlasmaShadow plasma source) 는 시스템의 중심입니다. 이는 최적의 속도와 정확도로 다양한 재료를 에칭하고 분쇄 할 수 있습니다. 전원 공급 장치 그룹의 4 단계 조절 가능 전원 장치 (Adjustable Power Unit) 를 사용하면 저전력뿐만 아니라 저전력에서도 Etcher/Asher를 작동시킬 수 있습니다. 이 조절 가능한 전원 기계는 또한 최적의 전력 안정성과 반복 성을 유지하는 데 도움이됩니다. 또한, 세밀하게 조정된 초점 길이 제어 도구를 사용하여 각 에치 사이클의 정확하고 균일 한 반복성을 보장합니다. 또한 에치 프로세스 (etch process) 의 길이에 걸쳐 일정한 전력 분배를 유지하는 데 도움이됩니다. PSK 컨투어 잠금, 적합성, 선택성 및 전원 피드백 시스템을 포함한 다양한 센서 헤드는 etch/ash 프로세스를 더욱 최적화하는 데 도움이됩니다. 또한 PSK 전용 AutoProcess ™ 알고리즘은 최적의 주기 시간과 반복 기능을 제공합니다. 이 알고리즘은 에치 사이클 (etch cycle) 을 자동으로 최적화하여 고장 주기의 위험을 제거하면서 효율성을 극대화합니다. 이 모델에는 2 개의 에치/애쉬 헤드와 옵션 동축 리프트 오프 플랫폼이 있습니다. 이 플랫폼은 더 작은 동축 리프트 세트를 위해 전통적인 o-ring을 전환하여 기판 로딩/언로드 시간을 크게 줄입니다. 뿐 만 아니라, 그 장비 에는 공정 작업 중 에 대피 와 청결 을 촉진 하는 "챔버 '가 갖추어져 있다. 과전류 보호, 플라즈마 유출 방지, 프로세스 중단 기능 등의 고급 안전 시스템 (Advanced Safety System) 은 운영 중 안전성과 정확성을 더욱 보장합니다. 또한, 시스템의 최적의 작업 환경은 챔버 온도 (chamber temper), 압력 (pressure) 및 습도 (humidity) 를 조절하는 종합적인 제어 세트로 쉽게 관리 및 유지 관리합니다. Supra III PM etcher/asher 유닛은 광범위한 재료의 에치와 재를위한 혁신적이고 고급 솔루션입니다. 사용자 정의 가능한 에칭 머신 (etching and ashing machine) 으로서, 고급 제어 시스템, 강력한 플라즈마 소스 및 신뢰할 수있는 에치헤드 설계는 사용자가 필요로 하는 결과를 제공합니다.