판매용 중고 PSK Evolite 2 #9259698

PSK Evolite 2는 PASS Equipment Korn Field GmbH가 개발 한 고급 에처/애셔입니다. 매우 효율적이고 에너지 절약형 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 시스템으로 다양한 애플리케이션에 사용할 수 있습니다. 최신 PECVD 기술 또는 Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition을 사용하여 에치 또는 애싱 프로세스를 만듭니다. 이 기술은 기존 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 방식보다 적은 전력을 필요로 하기 때문에 기판을 에칭하는 가장 효율적이고 비용 효율적인 방법 중 하나입니다. 에볼라이트 2 (Evolite 2) 는 에칭 프로세스를 제어하기위한 PECVD 헤드뿐만 아니라 응용 프로그램에 따라 사용자 정의 할 수있는 모듈식 설계를 가지고 있습니다. 그것 은 "실리콘 '," 갈륨' 비소 및 금속 산화물 을 포함 하여 여러 가지 기질 을 에칭 하여 부착 하도록 설계 되었다. 에칭 및 애싱 공정은 압력, 온도, 플라즈마-이온 밀도 등 다양한 매개 변수를 사용하여 제어 및 최적화 할 수 있습니다. 이러한 수준의 제어 및 최적화를 통해 각각의 에칭/애싱 (etching) 프로세스를 통해 최상의 품질의 기판 결과를 얻을 수 있습니다. PSK 에볼라이트 2 (Evolite 2) 에는 공정 챔버 및 해당 환경의 청결성을 유지하는 고급 챔버 클리닝 유닛이 있습니다. 이렇게 하면 모든 프로세스 매개변수가 최적의 에칭 및 어싱 (ashing) 결과를 위해 유지됩니다. 청소 챔버 (Clean Chamber) 는 또한 프로세스 반복성과 신뢰성을 향상시킵니다. 즉, 동일한 레시피로 처리 된 각 기판 배치는 일관된 결과를 얻을 수 있습니다. 또한, 에브 라이트 2 (Evolite 2) 에는 에칭/애싱 과정에서 발생하는 열로 인한 과도한 열 손상을 방지하기 위해 냉각기가 추가되었습니다. 냉각 도구 (cooling tool) 는 환경 온도가 상승하더라도 에칭/애싱 (etching/ashing) 프로세스를 유지하고 사고의 경우 안전 수준을 추가로 제공하는 데 도움이됩니다. 마지막으로, PSK Evolite 2에는 프로세스 챔버의 실시간 이미지를 제공하는 열 이미징 카메라도 포함되어 있습니다. 이렇게 하면 각 etching/ashing 프로세스 동안 프로세스 매개변수가 올바르게 설정되고 모니터링됩니다. 전반적으로, Evolite 2는 효율적이고 일관된 결과를 제공하는 최첨단 에칭/애싱 자산입니다. 다양한 애플리케이션의 요구 사항을 충족할 수 있도록 사용자 정의하고, 열 이미징 (thermal imaging) 카메라로 에칭 (etching )/애싱 (ashing) 프로세스를 실시간으로 모니터링할 수 있는 기능을 제공하므로 다양한 기능을 제공합니다. 이것은 다양한 기판을 에칭 및 재시하는 데 이상적인 선택입니다.