판매용 중고 PSK ECOLITE-II-T #9385545

PSK ECOLITE-II-T는 다양한 응용 프로그램을 위해 설계된 최첨단 에처/애셔 장비입니다. 이 시스템은 사용자에게 뛰어난 정밀도, 에칭 및 베이킹 프로세스를 제어합니다. 단일 (single) 작업과 다중 (multiple) 작업 모두에서 여러 웨이퍼를 동시에 처리하여 작업 효율을 높일 수 있습니다. ECOLITE-II-T는 고급, 다중 주파수, 서보 구동 및 직접 드라이브 절연 드라이브 모터를 갖추고 있습니다. 이는 다른 시스템에 비해 향상된 속도 정확도, 안정성, 정확성 및 향상된 웨이퍼 수율을 제공합니다. 웨이퍼 드라이브/스핀 속도 (wafer drive/spin speed) 를 조정하면 에칭 프로세스를 원하는 결과에 맞게 조정할 수 있습니다. 에치/애쉬 챔버 (etch/ash chamber) 는 한쪽에 RF 밀봉과 전체 유닛을 둘러싸는 사전 형성된 막 밀봉 키트를 장착하여 균일 한 진공 환경을 보장합니다. 이 로 말미암아 정확 한 조절 수준 을 갖추게 되고, 해로운 입자 들 이 약실 에 들어가지 못하게 된다. 또한, PSK ECOLITE-II-T 는 일관되고 균일 한 처리 조건을 보장하기 위해 챔버의 열 환경에 적응하는 온도 조절 모듈을 갖추고 있습니다. ECOLITE-II-T는 사용자와 환경을 모두 보호하는 여러 가지 안전 기능을 갖추고 있습니다. 이 제품은 블로우 오프 (Blow-off) 장치와 스크러버 (Scrubber) 를 장착하여 잠재적으로 위험한 물질을 철저히 대피 할 수 있습니다. 기계 는 "에칭 '과정 중 에 액체 나 다른 물질 이 공기 중 으로 방출 되지 않도록 설계 되었다. PSK ECOLITE-II-T는 실리콘 웨이퍼, 갈륨 비소 웨이퍼, 석영 유리, Li-silicate 유리 및 기타 유형의 Si-bearing 재료를 포함한 다양한 기판 및 재료와 호환됩니다. 또한 PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition Tool) 가 장착되어 박막을 높은 속도로 증착하고 균일성이 뛰어납니다. 전반적으로 ECOLITE-II-T는 신뢰할 수 있고 매우 정밀한 에칭 및 베이킹 자산입니다. 고급 디자인과 다양한 안전 (safety) 기능은 품질이나 성능에 영향을 미치지 않고 사용자에게 깊은 인상을 줍니다. PSK ECOLITE-II-T는 효율적이고 안정적인 에칭 기능을 원하는 사람들에게 완벽한 선택입니다.