판매용 중고 PSK DES-212-304AVLIII #9018567

PSK DES-212-304AVLIII
ID: 9018567
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 1989
Asher, 6" 1989 vintage.
PSK DES-212-304AVLIIII는 PSK (Plasma Systems Knox) 에서 제조 한 이중 헤드 반자동 선택 에처 및 애셔입니다. 현대 마이크로 일렉트로닉 재료의 에칭 및 애싱 (ashing) 에 전용으로 설계되었습니다. 혁신적인 기술로 구축 된 PSK DES 212 304 AVL III는 강력한 성능과 고효율 출력을 자랑하는 컴팩트하고 안정적인 etcher/asher입니다. 설치 공간이 작아 공간이 최소화 된 지역에 적합합니다. 이 장비는 저소음, 저에너지, 세라믹 코어 유도 구성을 사용하여 최대 온도 및 플라즈마 안정성을 생산하면서 전력 손실을 최소화합니다. DES-212-304AVLIII 의 이중 챔버 설계는 다중 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 작업 사이의 충분한 설정 시간을 제공하여 시스템 신뢰성을 향상시킵니다. 이 장치 는 다양 한 화학적 "에찬트 '와 반응물 과 호환 되어서 얇은" 필름', "실리콘 웨이퍼 '및 결정성 산화물 물질 의" 에칭' 과 재 를 만들 수 있다. 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스는 신뢰성이 높고 반복 가능하여 필요한 재작업 횟수를 최소화합니다. 또한 DES 212 304 AVL III는 정확하고 사용하기 쉬운 온도 제어 덕분에 매우 정확한 결과를 얻을 수 있습니다. PSK DES-212-304AVLIIII는 수동 및 자동 작동을 위해 설계되었습니다. 수동 작업 (Manual Operation) 은 사용자 친화적 그래픽 인터페이스를 통해 수행되며, 에칭 또는 어싱 프로세스의 각 단계에 대한 모든 변수와 설정을 표시합니다. 또한, PSK DES 212 304 AVL III에는 기계에있는 모든 이상이 빠르고 효율적으로 감지되도록 자체 진단 기능이 있습니다. 이 도구에는 사용자 및 장비를 보호하는 수많은 안전 기능이 포함되어 있습니다. 온도는 조정 가능한 범위를 사용하여 지속적으로 모니터링하고 제어하여 열 폭주 (thermal runaway) 또는 초과 (excess) 온도를 방지합니다. 또한, etcher/asher에는 고온 fume-removal 자산이 장착되어 있으며, 이는 주변 환경에 휘발성 화학 물질이 진입 할 위험을 방지합니다. 또한 DES-212-304AVLIII 에는 긴급 정지 (Emergency Stop) 버튼이 포함되어 있어 예상치 못한 사고가 발생할 경우 모든 작업이 즉시 중지됩니다. 결론적으로, DES 212 304 AVL III는 마이크로 일렉트로닉 재료의 에칭 및 재싱을 위해 설계된 안정적이고 고효율 에처/애셔입니다. 저소음, 저에너지 세라믹 코어 (low-energy ceramic core) 유도 구성, 듀얼 챔버 (dual chamber) 설계, 사용자 친화적 그래픽 인터페이스 등의 고급 기능을 통해 공간 요구 사항이 최소화된 영역에 적합합니다. 또한, 안전 기능은 사용자 및 장비의 보호를 보장합니다.
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