판매용 중고 PSK DAS 2000 #9276091

PSK DAS 2000은 중소형 에칭 및 애싱 어플리케이션을 위해 설계된 고효율 웨이퍼 에처/애셔 장비입니다. 이 시스템은 프로세스 제어 향상, 고해상도 이미징 (High Resolution Imaging), 사용 편의성을 위한 간편한 설계 등 새로운 기능을 갖춘 개선되고 업그레이드 가능한 설계를 제공합니다. 이 장치는 컨베이어 벨트 디자인으로 단단히 결합 된 2 개의 챔버를 사용하여 손쉽게로드합니다. 첫 번째 챔버는 에치 전/프리 애쉬 챔버 (pre-etch/pre-ash chamber) 로, 에칭 또는 애싱 전에 웨이퍼 표면을 올바르게 준비하는 데 필요한 원자 산소를 제공합니다. 이 챔버는 고온 및 저압 작동이 가능한 고급 Hot-Walled RF Input Power Source를 통합하여 기존 RF 전원보다 뛰어난 성능과 뛰어난 유연성을 제공합니다. 두 번째 챔버는 플라즈마 에칭/애싱 챔버 (Plasma Etching/Ashing Chamber) 로 고급 저압 단일 주파수, 다중 대상 광선 방전 전원을 사용합니다. 내장형 컨트롤러는 화면 상의 압력, 전력, 온도 판독값을 표시하기 위한 통합 옵션과 함께, 이해하기 쉬운 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 를 제공합니다. 이 챔버는 또한 정확도, 적합성 및 수동과 같은 에칭/애싱 매개변수에 대한 제어를 강화합니다. 이 기계는 또한 고급 이미지 캡처 도구 (advanced image capturing tool) 를 장착하여 에치 패턴 (etch pattern) 을 기록하고 분석하여 보다 뛰어난 제어 및 반복 기능을 제공합니다. 또한, 이 자산은 프로그래밍 가능한 경보 모델, 프로세스 중단 기능과 같은 우수한 안전 기능을 제공합니다. 전반적으로, PSK DAS-2000 은 이전 모델보다 높은 수준의 프로세스 제어 및 우수한 결과를 제공하기 위해 설계된, 매우 효율적이고 포괄적인 etcher/asher 장비입니다. 사용이 간편한 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 와 강력한 기능으로 실험실 및 산업용 에칭/애싱 (eching/ashing) 을 선택할 수 있습니다.