판매용 중고 PSK DAS 2000 #9243882

PSK DAS 2000은 PSK Corporation이 개발 한 고급 에처/애셔입니다. 2 인치에서 6 인치 웨이퍼까지 안정적인 기판 에칭/애싱 기능을 제공하도록 설계된 독립형 장비입니다. 이 시스템은 고속 기판 수송 장치 (High Speed Substrate Transport Unit) 와 완전히 통합 된 웨이퍼 카세트를 사용하여 한 번에 최대 4 개의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. PSK DAS-2000 에는 다양한 프로세스 존 (zone) 을 통해 웨이퍼를 안전하게 움직이는 고정밀 모터가 장착되어 있습니다. 여기에는 자동 기판 로더, 사출 구역, 습식 에칭 존, 드라이 에칭/애싱 존 및 웨이퍼 언로더가 포함됩니다. 습식 에칭 존 (wet etching zone) 은 수성 용액과 ULPA 필터링 된 열공기를 사용하여 최대 반복성과 균일성으로 모든 기판을 빠르게 에치합니다. 드라이 에칭/애싱 존 (dry etching/ashing zone) 은 ULPA 여과를 비활성 질소 또는 아르곤과 결합하여 다양한 기질의 정확한 에칭 및 재싱을 달성한다. 이 기계는 또한 통합 로드 잠금 및 타의 추종을 불허하는 온도 제어 (최대 400 ° C) 를 갖추고 있습니다. 모든 산업 표준 화학 물질과 호환되므로 사용자가 다양한 기판을 에치 (etch) 하고 재 (ash) 할 수 있습니다. 이 기능은 시간과 비용 (money) 을 절감하며, 여러 기판에 대해 값비싼 특수 솔루션을 구입할 필요가 없습니다. DAS 2000 은 빠른 주기 시간, 검증된 종단점 감지 툴을 통해 프로세스 효율성을 최적화하도록 설계되었습니다. 또한 안정적인 작동이 가능하며 24/7 의 무중단 가용성과 처리량을 보장합니다. 이 모든 것은 견고하고 안정적인 하드웨어 구성 요소와 사용이 간편한 터치스크린 (touch-screen) 사용자 인터페이스 (실시간 제어 및 오류 없는 작동 기능 제공) 를 통해 보장됩니다. 전반적으로 DAS-2000 은 강력하고, 안정적이며, 견고한 etcher/asher 로서 최고의 반복성과 균일성을 제공합니다. 효율성, 지능형 기능, 폭넓은 호환성을 통해 모든 에칭 (etching) 또는 애싱 (ashing) 어플리케이션에 이상적인 선택이 가능합니다.