판매용 중고 PSK DAS 2000 #9243716

PSK DAS 2000은 반도체, 실리콘 웨이퍼 및 기타 마이크로 일렉트로닉스 구성 요소의 표본 제조를 위해 설계된 완전 자동화 된 etcher/asher입니다. 최대 처리 온도 2000 ° C에서 정밀도로 최대 8 개의 레시피를 처리 할 수 있습니다. PSK DAS-2000에는 각각 독립적 인 온도 및 압력 제어, 디지털 및 아날로그 신호를 가진 8 개의 개별 프로세스 챔버가 있습니다. 최대 24 개의 다른 프로세스 매개 변수를 동시에 모니터링, 제어 및 조정할 수 있습니다. DAS 2000 에는 디지털 사용자 인터페이스 (Digital User Interface) 가 장착되어 있어 사용자는 신속하게 레시피를 리콜하고 이전에 프로그래밍한 프로세스를 검토할 수 있습니다. 또한 사용자 인터페이스 (user interface) 는 대상 압력 설정 포인트와 함께 진공 펌프에 대한 실제 챔버 압력 (chamber pressure) 을 표시하여 사용자가 레시피를 쉽게 세밀하게 조정할 수 있습니다. 또한 DAS-2000 은 모든 시스템 매개변수를 지속적으로 모니터링하여 최적의 결과를 지속적으로 달성하는 자가 진단 시스템을 제공합니다. 또한 PSK DAS 2000에는 독특한 리버스 배기 (reverse exhaust) 기능이 장착되어 있어 사용자가 챔버와 회생 송풍기에서 중고 화학 물질을 추방 할 수 있습니다. 이 기능은 화학 물질의 지속적인 적재 및 하역 (unloading) 동안 축적 될 수있는 유해 연기를 줄이는 데 도움이 되므로 안전이 극히 중요한 시설에서 특히 유용합니다. PSK DAS-2000 etcher/asher는 산소 및 염소 농도, 에치 속도 (etch rate) 및 온도 균일성 (temperature unifority) 과 같은 전기 화학 공정 매개변수의 엄격한 제어가 필요한 응용 분야에 적합한 안정적이고 정밀한 도구입니다. DAS 2000 은 뛰어난 일관성과 성능을 갖춘 고수율 (HI) 을 자랑하며, 이는 연구/운영 애플리케이션을 위한 탁월한 선택입니다.