판매용 중고 PSC DES-106-254A #9390540

PSC DES-106-254A Etcher/Asher는 다양한 재료의 드라이 에칭, 애싱, 반응성 이온 에칭 (RIE) 및 표면 청소를 위해 특별히 설계된 고성능 자동 정밀 장비입니다. 이 시스템은 주위 외부 온도에서 최대 400 ° C (최대 400 ° C) 의 온도에서 작동 할 수 있으며 재료 제거 작업에 이상적입니다. DES-106-254A는 다양한 가스 혼합물을 사용하여 정확하고 저온 플라즈마 에칭 및 애싱 (ashing) 을 제공합니다. PSC DES-106-254A Etcher/Asher는 로드 락이있는 50.9cm (20 인치) 팔각형 모양의 처리 챔버를 갖추고 있습니다. 이 약실은 최대한의 내구성을 보장하고 챔버 부품의 부식을 방지하기 위해 고품질의 스테인레스 스틸 (stainless steel) 로 만들어졌습니다. 이 장치는 4 인치 웨이퍼를 처리 할 수있는 용량을 가지며, 생산성을 극대화하기 위해 자동화 된 재료 처리 기계가 포함되어 있습니다. 공구의 독특한 설계는 플라즈마가 공간적으로 균일하게 유지되므로 각 웨이퍼에 걸쳐 반복 가능한 에칭/애싱 속도 (etching/ashing rate) 를 보장합니다. DES-106-254A Etcher/Asher는 용도가 매우 다양하여 다양한 에칭/애싱 프로세스를 수행 할 수 있습니다. 여기에는 반응성 이온 에칭 및 심해 에칭 작업을 통한 고밀도 플라즈마 프로세스 (etcher/asher) 가 포함됩니다. 이 자산은 다양한 에친트 가스 (etchant gase) 를 수용 할 수 있으며 고급 트리밍 응용 프로그램이 가능합니다. 또한, 이 모델에는 여러 다른 RF 및 DC 모듈에 대한 유틸리티 연결이 포함되어 있어 더 다양한 에칭/애싱 (etching/ashing) 작업을 수행할 수 있습니다. 이 장비는 작동 및 모니터링이 용이한 최첨단 그래픽 사용자 인터페이스 (예: 가장 복잡한 에칭 프로세스) 를 갖추고 있습니다. 이 시스템은 또한 진공 인터 록 (vacuum interlock), 압력 (pressure) 및 산소 경보 (oxygen alarm), 필요없는 장치 작동을 방지하기위한 압력 및 온도 센서를 포함한 여러 안전 기능을 갖추고 있습니다. 전반적으로 PSC DES-106-254A Etcher/Asher는 에칭, 애싱 및 기타 재료 제거 작업에 이상적인 기계입니다. 고유한 기능, 다용도 어플리케이션 기능, 고급 안전 시스템 (Advanced Safety System) 을 통해 가장 까다로운 프로세스에서도 안정성과 성능을 누릴 수 있습니다.