판매용 중고 POLYFLOW S-314 #9378987

POLYFLOW S-314는 마이크로 세동 프로세스를위한 에처/애셔 장비입니다. 광범위한 고급 반도체 작업에 대한 정확한 에칭 (etching) 및 클리닝 (cleaning) 기능을 제공하도록 설계되었습니다. 이 시스템은 최신 생산 프로세스의 높은 수요를 충족시키기 위해 특별히 설계되었으며, 높은 처리량, 정확한 제어, 최대 유연성을 제공합니다. S-314에는 에칭, 애싱 및 수동화 프로세스를 허용하는 3 챔버 장치가 장착되어 있습니다. 이 설정은 다양한 기판 크기와 프로세스 단계에 대해 효율적이고 안정적인 프로세스를 제공합니다. 이 챔버에서 결합 된 가스 분배기 (combined gas distribution machine) 는 균일 한 공정 결과를 보장하며, 공구는 각 개별 공정에 대해 사용자정의할 수 있습니다. 폴리플로 S-314 (POLYFLOW S-314) 는 정밀 로봇 공학에 의해 구동되며, 관절 정확도와 높은 처리량으로 자동 로드 및 언로드 작업을 수행 할 수 있습니다. 이 설정은 유기 감광제, 구운 저항제, 폴리 이미드 및 금속을 포함한 다양한 기판 및 재료를 지원합니다. 샘플은 sputter 매개변수, pattern size, process time, process sequence 등의 특정 정보로 사전 프로그래밍될 수 있습니다. 이 자산은 실리콘 기반 및 비 실리콘 기반 재료의 고성능 에칭 및 클리닝을 위해 설계되었습니다. 조절 제어 밸브 (throttled control valv) 를 장착하여 여러 가스를 전달하고 압력, 흐름, 온도, 전력 등 매개변수를 선택할 수 있습니다. 최대 수율과 성능을 달성하기 위해 프로세스 변수를 최소 분수까지 조정할 수 있습니다 (예: '% 1'). 또한 S-314 는 운영자 친화적인 사용자 인터페이스를 통해 모든 모델 기능에 쉽게 액세스할 수 있습니다. 또한, POLYFLOW S-314는 프로세스 유발 오염을 줄이는 동적 격리 장비와 신뢰성 향상을 위해 내장 된 안전 기능 (Safety Features) 을 갖추고 있습니다. 시스템의 압력, 진공, 온도 및 기타 매개변수는 직관적인 제어판 (control panel) 에서 실시간으로 모니터링되어 최적의 성능을 보장합니다. 이 장치는 또한 모듈식 설계로 인해 필요한 경우 유지 보수 및 부품 교체 (Low maintenance and Parts Replacement) 를 위해 설계되었습니다. 전반적으로 S-314는 마이크로 패브라이션 프로세스를 위해 설계된 고급 에처/애셔입니다. 스마트한 디자인 (Smart Design) 은 높은 정밀도의 에칭 (etching) 및 유지 보수를 최소화하면서 다양한 재료를 청소할 수 있는 효율적이고 안정적인 머신입니다.