판매용 중고 PLASMATHERM Waf'r Batch 74 #9050092

PLASMATHERM Waf 'r Batch 74는 Plasma Therm LLC에서 만든 에처/애셔 장비입니다. < 200äm 및 > 200äm 두께의 마스킹 레이어의 정밀 에칭 및 재싱을 위해 설계되었습니다. 배치 시스템은 두 개의 가스 소스로 설계되었으며, 하나는 Plasma etching 용이고 다른 하나는 Ashing 용입니다. 가스 소스는 커스텀 컨트롤러 (custom controller) 에 의해 제어되며, 여러 개의 압력 제어 옵션을 가진 단일 또는 다중 사이클 레시피를 허용합니다. 이 도구에는 낮은 자기장과 강력한 난방 장치를 갖춘 PG (Pyrolytic Graphite) 챔버가 있습니다. PG는 최적의 진공 환경을 제공하며, 높은 처리 균일성을 보장합니다. 가열 냉각기 (heating-cooling machine) 는 온도가 웨이퍼를 가로 질러 설정 점의 섭씨 몇 도 이내까지 유지되도록 합니다. 배치 도구 (Batch Tool) 는 모듈식 설계를 통해 프로세스 요구 사항을 쉽게 업그레이드할 수 있습니다. 공중제어· 공중정밀도를 위해 처리시간과 고급진공모델을 줄여 고속로드 (고속)· 언로드 (언로드) 에셋을 탑재했다. 정확한 웨이퍼 포지셔닝, 균일 한 에칭 및 재싱을 보장하기 위해 고속, 고해상도 인코더가 있습니다. 배치 장비 (Batch Equipment) 가 사용하는 소프트웨어는 사용자에게 친숙한 소프트웨어로, 레시피를 저장하고, 원격 액세스 (Remote Access) 및 네트워킹 기능을 제공하여 지원되는 도구를 제공하고, 보고서를 생성할 수 있습니다. 배치 시스템에는 여러 가지 안전 기능이 있습니다. 여기에는 비상 정지, 연동 장치, 전원 패널 및 냉각수 기계가 포함됩니다. 비상 사태 (Emergency Stop) 를 통해 운영자는 비상 사태가 발생할 경우 도구를 신속하게 멈출 수 있습니다. 연동 도구는 연산자 오류와 잘못된 사용을 방지합니다. 전원 패널은 자산을 모니터하고 제어합니다. 마지막으로 냉각수 모델은 온도를 안전한 수준으로 유지하는 데 도움이됩니다. 통합하기 위해 PLASMATHERM Waf 'r Batch 74는 정교한 고급 시스템을 사용하여 < 200äm 및 > 200äm 두께의 마스킹 레이어를 안정적으로 에칭하고 재싱합니다. 안전하고 효율적인 도구이며, 운영자가 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스를 쉽게 관리할 수 있습니다.