판매용 중고 PLASMATHERM VLR #9225838

PLASMATHERM VLR은 PLASMATHERM Applied Technology에서 개발 한 에칭 및 애싱 장비입니다. 이 다재다능한 기계는 반도체, 마이크로 일렉트로닉스, 태양 광 부품 등 다양한 기판을 수용하도록 설계되었습니다. 단순 한 일 에서부터 복잡 한 일 에 이르기 까지, 다양 한 직업 에 적합 하여, 고품질 의 결과 를 얻을 수 있다. VLR은 IGC (Integrated Gas Console), GPC (Gas Processing Console), 자동 로드/언로드 및 단일 또는 다중 챔버 프로세스 챔버를 포함한 여러 구성 요소로 구성됩니다. IGC에는 시스템 및 가스 흐름 조정을 쉽게 작동시킬 수있는 디지털 디스플레이 (digital display) 가 포함되어 있어 에치/애쉬 (etch/ash) 레시피를 정확하게 제어 할 수 있습니다. GPC는 가스 흐름 및 압력을 관리하고 최대 15 개의 에치/애쉬 레시피를 저장할 수 있습니다. 이 기계는 독점적 인 고밀도 마이크로 웨이브 발전기에 의해 활성화 된 플라즈마 에칭 (plasma etching) 과 질소 애싱 (ashing) 의 조합을 사용합니다. 이를 통해 강력한 선택성 (selectivity) 과 선명한 해상도로 반복 가능한 결과를 얻을 수 있으며, 회전 목마 (carousel) 는 기판을 빠르게 로드하고 언로드할 수 있습니다. 또한, 이 장치의 원격 진단 기능을 통해 운영 이상 (operation anomalies) 을 신속하게 감지 및 치료할 수 있습니다. PLASMATHERM VLR은 일관되고 안정적인 성능으로 반복 가능한 결과를 제공하는 정교한 etcher/asher 시스템입니다. '사용자 친화적' 설계를 통해 운영자들은 이 툴과 직관적으로 상호 작용할 수 있으며, 빠르고 효율적인 운영을 통해 다운타임을 줄이고 처리량을 늘릴 수 있습니다. 이 자산은 신뢰할 수 있는 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 기능을 찾는 반도체 제조업체에 적합한 선택입니다.