판매용 중고 PLASMATHERM VLR #9205771

PLASMATHERM VLR은 반도체, 광전자 및 마이크로 일렉트로닉스 산업의 다양한 응용 분야를 위해 설계된 최첨단 에처/애셔입니다. 이 다재다능한 기계는 DRIE (Deep Reactive Ion Etching), 플라즈마 애셔 및 기타 정밀 에칭 및 재싱이 필요한 프로세스에 이상적입니다. 이 기계는 3 개의 구역 기반 설계를 기반으로하며, 기질은 가스 산소 또는 활성화 된 질소로 첫 번째 구역에서 '사전 처리 (pre-treated)' 되어 표면 오염물을 제거하고 표면 손상을 막을 수 있습니다. 두 번째 영역 (second zone) 은 기판에 에칭된 피쳐를 적절히 선명하게 하기 위해 설계되었습니다. 제 3 구역은 비활성 대기를 제공하여 같은 용광로에서 에칭과 어닐링을 가능하게한다. 이 기계 에는 "플라즈마 '장 을 만드는 데 사용 되는" 마이크로' 파 발전기 가 들어 있다. 이것은 RF (무선 주파수) 기술을 사용하는 전통적인 ashers보다 훨씬 높은 정밀도를 제공합니다. 전자 레인지 전원을 조절하여 프로세스 속도를 최적화 할 수 있습니다. 이 기능은 또한 효과적인 안전 (Safety) 기능을 제공하며, 기판의 잘못된 정렬을 감지하지 못하면 즉시 종료됩니다. 이 기계는 또한 추가 리프트 오프 헤드 (lift-off head) 와 베이스 플레이트 (base plate) 를 장착 할 수 있으며, 진공 환경에서 어닐링이 가능합니다. 니켈과 금에서 높은 수준의 균질성을 달성하는 데 필수적입니다. 베이스 플레이트는 또한 직접 가열되어 더 높은 수준의 온도 균일 성을 허용합니다. VLR 에는 고급 소프트웨어 (Advanced Software) 가 장착되어 있어 프로세스의 모든 측면을 제어하고 모니터링할 수 있습니다. 또한 "가스 '는 매우 다양 한" 가스' 와도 호환 되므로 여러 가지 "에칭 '과" 애싱' "응용프로그램 '에 사용 될 수 있다. 이러한 기능을 통해 PLASMATHERM VLR 은 다양한 업종에 이상적인 선택으로, 사용자는 최소한의 노력으로 높은 수준의 생산성과 효율성을 얻을 수 있습니다. 이 기계는 또한 신뢰성이 높아, 프로세스가 예측 가능하게 반복 가능하며, 품질 결과가 일관되게 달성됩니다. 이를 통해 다용도 시스템 (Versitile System) 은 높은 수준의 성능과 정확성을 달성하기 위한 최상의 선택이 됩니다.