판매용 중고 PLASMATHERM VLR #9205768

PLASMATHERM VLR은 반도체 및 웨이퍼 레벨 제조를 위해 설계된 고효율 etcher/asher 장비입니다. 최대 3,000 와트의 전력을 생산할 수있는 다이렉트 드라이브 플라즈마 발전기 (direct-drive plasma generator) 가 장착되어 있으며, 최대 섭씨 197 도의 온도에 도달 할 수 있습니다. VLR 시스템 (VLR System) 은 정확성과 정확성을 갖춘 서브 마이크론 (sub-micron) 에칭을 제공하여 매우 균일성과 수율이 높은 매우 깨끗한 에지 프로파일을 제공합니다. PLASMATHERM VLR 장치에는 고급 배치 처리 컨트롤러 (batch processing controller) 와 환경 제어 장치 (ECU) 가 있어 정확한 온도 및 청소 조절이 가능합니다. 또한 VLR 머신 (VLR Machine) 은 초저전압 에칭 및 1000 Hz 열 분해와 같은 다양한 프로세스 옵션을 제공하여 프로세스를 최대한으로 제어합니다. PLASMATHERM VLR Tool은 구리 (Copper), 알루미늄 (Aluminum) 및 트리톤 (Triton) 20 (Triton 20) 재료를 포함한 여러 유형의 재료와 함께 사용할 수 있습니다. 또한 자동 마스크 전환 (automated mask shifting) 을 지원하여 필요할 때 빠르고 정확한 마스크 전환을 가능하게 합니다. 에셋은 또한 독특한 증기 상 에칭 모델을 제공하며, 이는 T 퓨즈 반응뿐만 아니라 폴리머 및 산화물 층의 플라즈마 처리를 가능하게한다. VLR 장비에는 또한 화염 함정, 화재 감지, 화재 경보 등 광범위한 안전 시스템이 있습니다. 모든 안전 측정 (Safety Measure) 은 사용자가 장치를 사용하는 동안 안전한지 확인합니다. PLASMATHERM VLR 머신 (PLASMATHERM VLR Machine) 에는 직관적인 그래픽 사용자 인터페이스가 있어 프로세스 매개 변수를 쉽게 수정하고, 배치 설정, 레시피 실행 및 에칭 프로세스 모니터링을 수행할 수 있습니다. 편의성을 높이기 위해, 이 도구를 네트워크에 연결하여, 다른 시스템과 통신할 수 있습니다. 또한 VLR 에셋에는 에칭 중에 프로세스를 쉽게 모니터링 할 수있는 LCD (Liquid Crystal Display) 가 있습니다. 결론적으로 PLASMATHERM VLR 모델은 반도체 및 웨이퍼 레벨 제조를위한 고효율적이고 고정밀 etcher/asher 장비입니다. 다이렉트 드라이브 플라즈마 제너레이터 (Direct-Drive Plasma Generator), 고급 배치 처리 컨트롤러 (Advanced Batch Processing Controller) 및 환경 제어 장치 (Environmental Control Unit) 가 장착되어 있어 정밀한 온도 및 청소 조절이 가능합니다. 또한 초저전압 에칭 및 1000 Hz 열 발파 등 다양한 프로세스 옵션을 제공합니다. 또한, 이 시스템에는 불꽃 함정, 화재 탐지, 화재 경보 (fire alarm) 와 같은 안전 기능이 장착되어 있습니다. 직관적인 그래픽 사용자 인터페이스와 LCD 디스플레이를 통해 Etching 시 프로세스를 쉽게 모니터링할 수 있습니다.