판매용 중고 PLASMATHERM VLR #9139644

PLASMATHERM VLR (PLASMATHERM VLR) 은 현대 산업 공정의 가혹한 요구를 충족시킬 수있는 아트 에처/애셔 머신의 상태입니다. VLR 은 비용/시간 요인을 최소화하면서, 정확하고 반복 가능한 프로세스 결과를 제공하도록 설계되었습니다. PLASMATHERM VLR의 대형 작동 챔버는 약 63 입방 피트를 측정하며 최대 13.3 psig로 가압됩니다. 이를 통해 고온/압력 플라즈마 에칭, RIE (reactive ion etching) 및 ashing을 포함한 광범위한 프로세스가 가능합니다. 이 기계는 2 단계 고전압 DC 전원 공급 장치를 사용하여 펄스 DC 및 펄스 플라즈마 에칭 서열을 허용합니다. 또한 번갈아 가며 극성 에칭 (etching) 을 수행할 수 있으므로 특정 재료를 에칭하는 데 더 효율적입니다. VLR은 에치 레이트 (etch rate), 표면 상태 (surface condition) 및 전도성 (conductivity) 을 면밀히 제어하여 모든 물질의 정확한 에칭 및 재싱을 가능하게하도록 설계되었습니다. 또한 에칭/애싱 시간 및 용량에 대한 정확한 제어를 위해 특허를받은 다중 조리개 방전 시스템을 갖추고 있습니다. 또한, 절연 된 챔버 가스 선박 하우징은 또한 입자 오염을 최소화하는 데 도움이됩니다. 컴퓨터의 사용자 인터페이스는 직관적이고 사용이 간편하며, 다양한 디스플레이 옵션 (예: 그래픽 디스플레이, 수치 데이터 디스플레이) 을 포함합니다. 이 소프트웨어는 최대 10 개의 레시피를 저장하여 리콜 및 프로그래밍 편의를 쉽게 할 수 있습니다. 기계는 또한 기판 재료의 정확한 에칭 또는 애싱 (ashing) 을 보장하는 자동 튜닝 기능을 가지고 있습니다. PLASMATHERM VLR (PLASMATHERM VLR) 의 안전 (Safety) 기능도 최고 수준이며, 빠른 비상 종료 기능을 위해 사용자 인터페이스에 비상 정지 버튼이 있으며, 유독 한 연기, 입자 또는 증기를 캡처하고 안전하게 제거하는 연료 격리 시스템이 있습니다. 전반적으로 VLR etcher/asher는 산업 에칭 및 애싱 요구에 이상적인 선택입니다. 이 제품은 정확한 에칭/애싱 기능, 직관적인 사용자 인터페이스, 안전한 운영, 다양한 에칭/애싱 (eching/ashing) 요구 사항을 충족할 수 있는 다양한 기능을 자랑하는 고급 머신입니다. 또한 소형화 (compact size) 와 저소음 (low noise) 수준은 모든 크기 시설에서의 운영에 적합하며, 상대적으로 저렴한 비용으로 인해 많은 애플리케이션에 비용 효율적인 선택이 가능합니다.