판매용 중고 PLASMATHERM VLR #9139623

PLASMATHERM VLR
제조사
PLASMATHERM
모델
VLR
ID: 9139623
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 1996
RIE LM/TM systems, 6" 1996 vintage.
PLASMATHERM VLR은 고정밀 제조를 가능하게하기 위해 다양한 우수한 기능을 자랑하는 에처/애셔입니다. 이 장비는 304 개의 스테인리스 스틸, 알루미늄 및 세라믹 부품을 포함한 최상급 재료로 만들어졌습니다. 금속, 중합체, 유전체 등 다양한 기질에서 최대 75 nm의 에칭 깊이를 달성 할 수 있습니다. 이 시스템은 효율이 높은 단일 스트림 (single-stream) 설계를 통해 멀티스트림 (multi-stream) 시스템 비용의 일부분에서 최대 정밀도를 달성할 수 있습니다. 단일 스트림 (single-stream) 디자인은 교차 오염 위험을 줄여 민감한 제품에 더 안전합니다. 직관적인 터치 스크린 인터페이스를 통해 쉽게 사용할 수 있습니다. 선택 가능한 플라즈마 가스, 3 단계 에칭, 조절 가능한 유지 시간, 프로그래밍 가능한 전력 출력 등 프로세스를 제어하는 광범위한 기능이 있습니다. 이 장치에는 비상 차단 스위치 (Emergency Shutoff Switch) 및 조절 가능한 안전 경비대 (Safety Guard) 와 같은 안전 기능도 포함되어 있습니다. 또한 내장형 플라즈마 진단 (Plasma Diagnostics) 기능을 통해 프로세스를 모니터링하고 에칭 프로세스의 상태에 대한 피드백을 제공합니다. VLR은 일관되고 정확한 에칭을 제공합니다. 에칭의 품질을 향상시키는 고속 이동 동작이 있습니다. 조정 가능한 깊이 (adjustable depth) 를 통해 에칭을 정확하게 제어할 수 있으므로 사용자가 완벽한 마무리를 만들 수 있습니다. 또한 독특한 이중 핸들 컨트롤 머신 (Dual-Handed Control Machine) 을 사용하여 작동이 쉽고 사용이 편리합니다. 이 도구는 환경 친화적이며, 다른 시스템에 비해 최대 70% 적은 에너지, 97% 적은 폐기물 출력을 사용합니다. 또한, 자산은 작동을 위해 단일 플라즈마 챔버 (plasma chamber) 만 필요하므로 유지 보수가 쉽습니다. 따라서 서비스/교체 부품의 비용을 절감하고 다운타임을 줄일 수 있습니다. 전체적으로 PLASMATHERM VLR은 최고의 정확성과 효율성을 위해 설계된 고급 첨단 기술 에처/애셔입니다. 사용 편의성, 안전 및 효율성을 위한 뛰어난 기능을 갖추고 있습니다. 비용 절감, 고해상도 (High-Precision), 최고급 (Top-End) 성능은 모든 제조 프로세스에 적합한 선택입니다.
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