판매용 중고 PLASMATHERM VLN - Versaline #9124972

PLASMATHERM VLN - Versaline etcher/asher는 웨이퍼, 금속 및 실리콘 기판을 포함한 다양한 유형의 재료를 에치/재로 만들기 위해 설계된 정밀 제어 웨이퍼 처리 기계입니다. 이 기계는 높은 수준의 제어 및 정확도와 결합 된 플라즈마 소스 (plasma source) 를 사용하여 우수한 에칭/애싱 결과를 제공합니다. Versaline의 주요 기능에는 고정밀 제어, 고속 플라즈마 에칭/애싱 (etching/ashing) 및 정교한 프로세스 제어 기능이 포함되어 있어 웨이퍼 처리에 도전할 수 있습니다. 이 기계는 100MHz RF 생성기를 사용하여 최적의 웨이퍼 에칭/애싱을 위해 최대 900 와트의 RF 전력을 생성합니다. 기계의 12 구역 에치/애쉬 챔버 (etch/ash chamber) 는 광범위한 움직임을 가지고 있으며 최적의 처리 순도를 위해 온도를 포함한 에치/애쉬 매개변수를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 각 존 (Zone) 에는 정확한 결과를 보장하기 위해 자체 프로세스 제어 및 압력 제어 시스템이 있습니다. 이 기계는 또한 에칭/애싱 (etching/ashing) 전에 웨이퍼를 사전 처리하기 위해 12 존 베이크 스테이션을 갖추고 있으며, 이를 통해 사용자는 더 나은 균일성과 프로세스 반복성을 얻을 수 있습니다. 베이크 스테이션 (Bake station) 에는 독립된 온도 및 압력 제어 시스템이 장착되어 있어 정확성과 성능이 우수합니다. 베르살린 에치/애쉬 챔버 (Versaline etch/ash chamber) 는 용접 구조의 고품질 알루미늄으로 만들어져 강성, 내구성 및 뛰어난 공정 성능을 제공합니다. 또한 etch/ash 매개 변수를 간단하고 효과적으로 프로그래밍 할 수있는 프로그래밍 가능한 사용자 인터페이스가 있습니다. 또한, 사용자 인터페이스는 프로세스 기록을 추적하고 실시간으로 성능을 모니터링할 수 있도록 지원합니다. 결론적으로, VLN - Versaline etcher/asher는 우수한 에칭/애싱 결과를 빠르고 정확하게 전달하도록 설계된 정밀 제어 웨이퍼 처리 기계입니다. 정교한 멀티 존 에치/애쉬 챔버 (multi-zone etch/ash chamber), 프로그래밍 가능한 사용자 인터페이스 및 에칭/애싱 전에 웨이퍼를 사전 처리하기위한 베이크 스테이션이 특징입니다. 고품질 (High-Quality) 구성과 고급 기능을 갖춘 이 시스템은 일관된 결과와 높은 수준의 고객 만족을 제공합니다.