판매용 중고 PLASMATHERM Versalock 700 #9355619
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ID: 9355619
웨이퍼 크기: 8"
PECVD System, 8"
LM/TM Module
Cassette to cassette load lock
Robot transfer
(6) Zones WATLOW Chamber heat controller
ADVANCED ENERGY RF5S 500 W RF Lower electrode power supply
With match work and tuner
(4) Mass flow controllers.
PLASMATHERM Versalock 700은 정확한 재료 처리를 위해 최첨단 에처/애셔입니다. 초미세먼지 (Ultra Metal Trace) 에서 대규모 프로토 타입 (Prototype) 까지 모든 프로젝트의 수명을 연장하기 위해 최신 기술을 활용합니다. Versalock 700은 재료 과학 및 연구 및 산업 응용 프로그램 모두에 필요한 다재다능성과 전력을 제공합니다. PLASMATHERM Versalock 700에는 기능적이고 사용하기 쉽고 직관적인 사용자 환경을 제공하는 고급 인체 공학적으로 설계된 제어판이 있습니다. 정확한 2.8 "LCD 컬러 터치스크린을 사용하면 기능 저하를 방지하기 위해 작업을 빠르고 정확하게 구성하고 저장할 수 있습니다. 대용량 그래픽 LCD와 결합된 382MB (Standard Memory Capacity) 는 추가 하드웨어 없이 최대 40개의 프로세스 프로그램을 저장할 수 있습니다. 고급 화학 물질은 수많은 에칭 및 연마제 청소 기능을 제공합니다. 파우더 블라스팅 (powder blasting) 및 에칭 (etching) 을 포함하여 다양한 습식 화학 에칭 및 애싱 옵션을 사용할 수 있습니다. 모든 PLASMATHERM 시스템과 마찬가지로, sonication, automated wafer transfer 및 extended robot operation과 같은 사용자 정의 가능한 정리 옵션을 사용할 수 있습니다. 버살록 700 (Versalock 700) 은 버튼을 누르고 원치 않는 재료를 에치 (etch) 하거나 태울 수 있는 기능으로, 효율적인 작동에 이상적인 선택입니다. 코어에서 PLASMATHERM Versalock 700에는 게이트 전극 (gate electrode) 을 갖춘 2 개의 버스가 장착되어 웨이퍼 표면의 기판 및 기능 손상을 최소화합니다. 이 각 버스에는 각 대상 웨이퍼를 정확하게 배치하고 조정하기 위해 3 축 로봇이 장착되어 있습니다. "로봇 '은 기판 으로부터 최대 + 1" 킬로미터' 떨어져 있는 격리 범위 를 갖추고 있어 외부 의 근원 으로부터의 오염 이 전혀 없다. 또한, 프로세스 효율성을 높이기 위해 Versalock 700을 프로그래밍하여 고전류 (high current) 와 표준 (standard) 전원 공급 장치 구성을 전환할 수 있습니다. PLASMATHERM Versalock 700은 Class 10 클린 룸에 보관되어 있어, 철저하게 밀폐된 오염 없는 작업 환경을 제공합니다. 이 장비에는 내장형 다이오드 레이저 (Diode Laser) 가 장착되어 있어 대상 재료에만 균등하게 영향을 미치므로 추가 전원 공급 장치가 필요하지 않습니다. 또한, Versalock 700은 에치 (etch) 시스템의 가스 교환 및 자동 가스 전달 장치 (gas delivery unit) 와 관련된 시간과 비용을 제거합니다. 다양한 맞춤형 옵션을 갖춘 효율적인 에칭/지원 시스템의 경우 PLASMATHERM Versalock 700이 탁월한 선택입니다. 직관적인 디자인과 사용이 간편한 기능으로 인하여 모든 에칭 (etching) 또는 절제 (ablation) 작업에 이상적인 선택이 됩니다.
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