판매용 중고 PLASMATHERM Versalock 700 #9355618
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ID: 9355618
웨이퍼 크기: 8"
Reactive Ion Etcher (RIE), 8"
LM/TM Module
RIE Module
Cassette to cassette load lock
Robot transfer
LEYBOLD 361C Turbo pump with controller
MKS Throttle valve with controller
ADVANCED ENERGY RF10S 1000 W RF Lower electrode power supply
With match work and tuner
(4) Mass flow controllers.
PLASMATHERM Versalock 700은 다양한 기판 재료 및 프로세스에 사용되는 고품질 에치/애쉬 도구입니다. 이 정밀한 장비는 다양한 크기의 기판을 사용할 때 반복 가능한 정확성과 균일성을 보장합니다. 독특한 인체 공학적 습식 벤치 디자인 (ergonomic wet bench design) 을 통해 안전한 작업 환경을 유지하면서 사용자의 편안함을 극대화합니다. Versalock 700은 넓은 프로세스 창을 제공하여 에칭 (etching) 또는 애싱 (ashing) 시 충실도 결과가 높습니다. PLASMATHERM 독점 VersaLock (tm) Mode 선택 기능을 사용하면 한 번에 최대 4개의 기판을 다중 모드 프로세싱할 수 있도록 시스템을 구성할 수 있습니다. 이는 모든 기판에서 일관된 etch/ash를 보장하여 균일성 및 신뢰성을 향상시킵니다. PLASMATHERM Versalock 700 (PLASMATHERM Versalock 700) 은 고급 에칭 기술을 사용하여 프로세스 매개변수를 일관성 있고 균일하게 유지하는 기능을 통해 운영 라인 환경에서 정확하고 반복적으로 사용할 수 있습니다. 고도로 적응적인 프로세스 제어 (process control) 기능을 통해 장치에서 처리량과 정밀도를 극대화하면서 품질 결과를 얻을 수 있습니다. 또한 Versalock 700은 etch/ash 프로세스를 특정 응용 프로그램에 맞게 조정하도록 설계된 다양한 액세서리를 제공합니다. 여기에는 샘플 홀더, 샘플 랙, 프로세스 모니터링 센서 및 대량 흐름 컨트롤러가 포함됩니다. 또한 고급 기능 및 섬세한 기판 재료에 이상적인 초저압 에치 (옵션) 가 있습니다. PLASMATHERM Versalock 700은 또한 사용자를 해치지 않도록 포괄적인 안전 기계를 갖추고 있습니다. 여기에는 가열 된 가스의 탈출 방지, 과열 방지를위한 열 절단 도구 (thermal cut out tool) 및 압력 수준이 정해진 한계를 초과 할 때 해제되도록 설계된 압력 인터 록 (pressure interlock) 이 포함되어 있습니다. 결론적으로, Versalock 700은 다양한 기판 재료 및 프로세스에 대해 정확하고 반복 가능한 결과를 제공하는 고급 에치/애쉬 (etch/ash) 도구입니다. 프로세스 매개변수 (process parameters) 의 넓은 창을 사용하여 etch/ash 프로세스를 특정 응용 프로그램에 맞게 조정할 수 있습니다. 또한 사용자를 위험과 피해로부터 보호하기 위해 광범위한 안전 자산이 있습니다.
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