판매용 중고 PLASMATHERM Versaline #9402602
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PLASMATHERM Versaline은 반도체 및 관련 산업의 리소그래피 프로세스에 적합한 에처 및 애셔 장비입니다. 베르살린 (Versaline) 은 광범위한 집적 회로 에칭 및 ablation 프로세스에서 깨끗하고, 정확하고, 반복 가능하며, 고성능 결과를 제공하도록 설계되었습니다. 이 시스템은 혁신적인 고밀도 플라즈마 및 일렉트로 옵토 레이저 기술을 사용하여 최소 몇 ms의 강력한 결과를 제공합니다. PLASMATHERM 베르살린 (PLASMATHERM Versaline) 의 통합 전력은 에치 타임 (etch time), 전류, 전압, 온도 등 모든 중요한 에칭 매개변수에 대해 정확한 제어 기능을 제공합니다. 원하는 결과를 전달합니다. 또한, Versaline 기계는 광범위한 원소 및 복합 재료를 에칭하는 탁월한 기능을 제공하여 SOI, PDSOI, DRAM 및 Flash Memory 장치를 포함하여 다양한 집적 회로 기술에 적합합니다. 강력한 성능 외에도 PLASMATHERM Versaline 도구는 통합 OPC 및 리소그래피, 고급 제품 제어, 내부 (In-Situ) 모니터링 및 청소 보증과 같은 고급 기능을 제공하여 프로세스 효율성 및 제품 품질을 향상시킵니다. 또한 디지털 관리 모델 (digital management model) 을 통해 중요한 프로세스 데이터를 실시간으로 간편하게 모니터링, 분석, 보고할 수 있습니다. 이 기능은 특정 에치 (etch) 및 ablation (ablation) 작업의 빠르고 정확한 특성을 지원하고 빠른 프로세스 최적화를 지원하므로 디바이스 구성의 속도와 정확성이 향상됩니다. 요컨대, Versaline 장비는 깨끗하고, 정확하고, 반복 가능하며, 고성능 결과를 빠르고, 효율적으로 제공할 수 있기 때문에 반도체 및 관련 산업에 이상적인 선택입니다. 고급 기능, 뛰어난 성능, 빠른 프로세스 최적화 기능을 갖춘 PLASMATHERM Versaline은 통합 회로 설계 (etching integrated circuit design) 를 위한 완벽한 선택입니다.
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