판매용 중고 PLASMATHERM Versaline #9255100
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ID: 9255100
웨이퍼 크기: 4"
빈티지: 2016
ICP Etcher, 4"
ESC Chucks
Gallium Arsenide (GaAs)
2016 vintage.
PLASMATHERM 베르살린 (Versaline) 은 광범위한 산업 및 과학 응용 분야에 사용되는 정밀 에처 (asher) 라고도합니다. 최신 에칭 기술을 활용한 베르살린 (Versaline) 은 매우 높은 수준의 정밀도로 빠르고 정확하게 표면을 에칭하도록 설계되었습니다. PLASMATHERM Versaline (PLASMATHERM Versaline) 은 완전히 자동화되어 있으며, 다양한 모양과 크기로 표면을 에치 할 수 있도록 프로그래밍되어 복잡하고 복잡한 에칭 프로젝트에 적합합니다. Versaline은 신뢰성이 높은 마이크로 프로세서로 구동되며 4 축 CNC 기술로 작동합니다. 이를 통해 전체 에칭 프로세스를 완벽하게 제어할 수 있으며 금속, 왁스, 세라믹, 플라스틱, 비금속 부품 등 다양한 재료를 정확하게 에칭할 수 있습니다. 일관되고 반복 가능한 에칭 결과를 제공하는 3 차원 다중 영역 로터리 궤도 동작 시스템 (multi-zone orbital motion system) 을 갖추고 있으며, 정확한 마이크로 패브라이션 및 nanofabrication 응용 프로그램에 적합합니다. PLASMATHERM 베르살린 (Versaline) 은 다양한 속도, 온도 및 압력으로 에칭할 수 있으며, 스텝 에칭, 다이빙 및 패턴화를 포함한 광범위한 에칭 프로세스를 가능하게하는 프로그래밍 가능한 작동 매개변수를 가지고 있습니다. 손쉽게 제어하고 모니터링할 수 있도록 손쉽게 조명할 수 있는 LCD 모니터를 갖추고 있으며, 다양한 타사 소프트웨어 프로그램과 호환되므로 더욱 다양합니다 (영문). Versaline에서 사용되는 공정 가스에는 Ozone, Oxygen, Helium, Argon, Heliox 및 Nitrogen이 포함됩니다. 모든 "가스 '는 특정 한 온도 와 압력 수준 에서 가열 되고 제거 되어 안전 과 최고 의 질 의" 에칭' 결과 를 보장 한다. 가스 배출 (gas delivery) 및 배기 시스템 (exhaust system) 은 에칭 과정에서 생성된 유해한 부산물로부터 운영자와 환경을 보호합니다. PLASMATHERM 베르살린 (Versaline) 에는 최첨단 에칭 기능 외에도 진공 시스템 (Vacuum System) 과 먼지 수집 챔버 (Dust Collection Chamber) 가 포함되어 있습니다. 이 시스템은 또한 설치와 작동이 용이하며, 소음 수준은 매우 낮습니다. 이 모든 것이 Versaline을 정확한 에칭 어플리케이션을 위해 다양하고 신뢰할 수있는 솔루션으로 만듭니다.
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