판매용 중고 PLASMATHERM Versaline #9255098
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ID: 9255098
웨이퍼 크기: 4"
빈티지: 2016
ICP Etcher, 4"
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Gallium Arsenide (GaAs)
2016 vintage.
PLASMATHERM Versaline은 드라이 에칭 및 플라즈마 기술 분야의 선두 주자 인 PLASMATHERM에서 제조 한 강력한 에처/애셔입니다. 베르살린 (Versaline) 은 집적 회로 및 기타 복잡한 부품 제조에서 고급 프로세스 요구 사항을 위해 설계되었습니다. 정확하고 안정적인 운영으로 PLASMATHERM Versaline은 반도체, MEMS 및 NEM 산업의 중고밀도 응용 분야에 이상적입니다. 베르살린 (Versaline) 은 챔버 입구에서 대상 파티로 흐르는 이온화 가스 (ionized gas) 의 정확하고 반복 가능한 경로를 제공하도록 설계된 수직 진공 플라즈마 챔버 (vertical vacuum-plasma chamber) 입니다. 이 챔버 (Chamber) 는 여러 부품의 효율적이고 자동화된 로드 및 언로드를 용이하게 하는 독특한 동심원 구조로 설계되었습니다. PLASMATHERM Versaline은 고급 PLASMATHERM 플라즈마 기술 (PlasmATHERM Plasma Technology) 으로 구동되며, 이는 금속 또는 탄소 기반 재료의 고도의 반복 식각 및 재시를 생성합니다. 고급 전력 관리 능력을 갖춘 베르살린 (Versaline) 은 프로그래밍 가능한 에칭 깊이와 플라즈마 온도 프로파일을 생성할 수 있으며, 정밀 에칭 (etching) 이 가능하며, 재현 가능한 결과와 뛰어난 결과를 얻을 수 있습니다. PLASMATHERM Versaline은 업계 표준 제어 시스템으로도 설계되었으며, 사용자 친화적이고 직관적인 운영을 제공합니다. 엄격한 환경 요구 사항으로 인해 Versaline은 진공 플라즈마 처리의 엄격한 요구에 적합합니다. PLASMATHERM Versaline은 CE 및 RoHS 규정 준수 인증을 획득하여 품질과 안전성을 보장합니다. 또한 Versaline은 안정적인 성능과 낮은 소유 비용을 제공합니다. 그 효율적 인 작업 은 청소 시간 과 유지 보수 를 감소 시켜, 다른 "플라즈마 '" 시스템' 에 비해 상당 한 비용 을 절감 시킨다. PLASMATHERM Versaline (PLASMATHERM Versaline) 은 또한 높은 온도 재료를 처리하여 더 많은 양의 프로세스 유연성을 제공 할 수 있다는 장점을 가지고 있습니다. 전반적으로 Versaline은 까다로운 에칭 및 애쉬 애플리케이션에 이상적인 선택입니다. 광범위한 프로세스 창으로 유연성 향상, 사용자 친화적 인터페이스 (User-Friendly Interface) 를 통해 작업을 손쉽게 수행할 수 있으며, 신뢰성 있는 성능을 통해 뛰어난 결과를 얻을 수 있습니다. PLASMATHERM Versaline은 다양한 애플리케이션을 위한 강력하고 효율적인 솔루션입니다.
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