판매용 중고 PLASMATHERM Versaline #9254667
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ID: 9254667
웨이퍼 크기: 3"-8"
빈티지: 2011
CVD System, 3"-8"
(3) Chambers
(2) PECVD Chambers
HDP-CVD Chamber
(3) Power modules
BROOKS AUTOMATION MX 600 Handler station
2011 vintage.
PLASMATHERM Versaline (PLASMATHERM Versaline) 은 반도체 생산 및 연구 산업에서 다양한 응용 분야를 위해 설계된 고급 etcher/asher 기계입니다. 배치 (Batch) 및 단일 웨이퍼 (Single Wafer) 어플리케이션 모두에 적합하며, 소형의 크기로 공간이 제한된 랩에 적합합니다. Versaline은 뛰어난 정확성과 유연성을 제공하여 사용자에게 다양한 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 기술에 액세스 할 수 있습니다. 여기에는 다양한 특수 기능 (예: 다중 단계 에칭 프로세스, 과압 보호, 균일성 제어, 자동 클리닝 모드) 이 포함됩니다. 이 기계는 또한 여러 소프트웨어 패키지를 지원하는 최신 제어 장비 (Control Equipment) 를 갖추고 있으며, 다양한 설정에서 사용할 수 있습니다. 대부분의 ashing 시스템과 달리 PLASMATHERM Versaline은 완전히 밀봉 된 챔버에서 작동하도록 설계되었습니다. 이 혁신적인 진공 물개 (vacuum seal) 기술은 용기를 오염시킬 수있는 입자와 가스를 제거하여 출력의 품질을 향상시키는 데 도움이됩니다. 이 시스템은 사용자에게 원하는 결과를 얻을 수 있도록 다양한 옵션을 제공하는 강력한 프로세스 (process) 섹션을 제공합니다. 가스 공급 장치 (gas supply and exhaust unit) 와 다양한 난방 기능이 장착되어 있습니다. 이를 통해 사용자는 압력 (Pressure), 흐름 속도 (Flow Rate), 온도 (Temperature) 등 여러 매개변수를 매우 정확하게 제어할 수 있습니다. 회전 단계와 결합 할 때, 이것은 다양한 기질로 에칭 및 애싱 (ashing) 에 이상적입니다. 고급 소프트웨어 제품군인 Versaline (Versaline) 은 다른 시스템과 쉽게 통합되어 원활한 운영 제품군을 구축할 수 있습니다. 또한, 명확한 유지 관리 모드로, 모니터링 및 유지 관리 절차를 제어 시스템 내에서 편리하게 수행할 수 있습니다. 공구 (tool) 나 기판 (기판) 에 손상이 발생하기 전에 이변을 신속하게 파악하고 수정하는 데 도움이 됩니다. 고려 된 모든 것, PLASMATHERM Versaline은 신뢰성이 높고 정확한 에칭 및 애싱 머신을 찾는 사람들에게 이상적인 선택입니다. 그 특유의 특징과 직설적인 운영 (operation) 은 대부분의 경쟁사보다 우위를 점하며, 이는 모든 실험실을 고려해 볼 가치가 있습니다.
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