판매용 중고 PLASMATHERM Versaline #9254663
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ID: 9254663
웨이퍼 크기: 3"-8"
빈티지: 2011
ICP Etcher, 3"-8"
(4) Chambers
(4) PM Modules
Cassette to cassette
BROOKS AUTOMATION MX 600 Handler station
2011 vintage.
PLASMATHERM Versaline은 폴리머 및 유리 기판의 정밀 유전체 에칭 및 빠른 재싱을위한 비용 효율적인 에칭 및 애싱 장비입니다. 베르살린 (Versaline) 은 에치 프로세스 매개변수를 정확하게 제어하기 위해 설계되었으며, 최소한의 에치 오버슈팅으로 균일하고 반복 가능한 에치 프로파일을 제공합니다. RF 파워와 다양한 플라즈마 가스 (plasma gase) 를 사용하여 향상된 에치 균일성, 선택성 및 프로파일 제어를 달성 할 수 있습니다. PLASMATHERM Versaline 시스템은 단일 원형 척과 2 단계 진공 챔버로 구성됩니다. 척에는 중앙 전극이 있는데, 이는 화학적 에칭 공정에서 생성 된 플라즈마에 사용된다. 4 개의 가스 라인 (gas line) 이 처리 가스를 챔버에 공급하고 챔버에는 프로세스 모니터링을 위해 전동 벽과 쿼츠 뷰 포트 (quartz viewport) 가 동봉됩니다. 이동 가능한 수직 RF 코일을 사용하면 플라즈마 에치 프로파일을 정확하게 조정할 수 있습니다. 이 장치는 압력 범위 50 mTorr ~ 760 Torr에서 작동하며 환기 및 적재 용 에어 록 챔버가 있습니다. Versaline etcher는 프로세스 실행을 위해 설계되었으며, 종합적인 사용자 인터페이스와 프로세스 레시피 편집기 (process recipe editor) 를 갖추고 있습니다. 챔버와의 인터페이스는 Lambda 소프트웨어를 사용하는 PLASMATHERM Versaline 컨트롤러를 통해 제공됩니다. Lambda 소프트웨어에는 기판 온도, 압력, RF 전력 및 플라즈마 밀도를위한 고급 모니터링 시스템이 포함되어 있습니다. 프로세스 매개변수는 실시간으로 변경하고 세밀하게 조정할 수 있습니다. 또한, 베르살린 (Versaline) 도구는 온도 조절을위한 정전기 척 (electrostatic chuck), 기판 회전, 다양한 기판 (thin film deposition system) 과 통합 할 수있는 다양한 복잡한 옵션을 제공합니다. PLASMATHERM Versaline (PLASMATHERM Versaline) 은 분자 나노 컴포지트 재료, 폴리머 및 안경과 같은 다양한 샘플 재료의 빠른 열 처리가 가능하며, 뛰어난 균일성 및 에치 프로파일 제어를 제공합니다. 에치 프로파일을 정확하게 제어하는 기능은 Versaline을 고정밀 에칭, 애싱 및 어닐링 프로세스에 적합하게 만듭니다. 또한 나노 스케일 리소그래피 (nanoscale lithography) 및 에칭 응용프로그램 (etching application) 을 위해 제어된 깊이 및 프로파일을 달성하기위한 이상적인 도구입니다. PLASMATHERM Versaline (PLASMATHERM Versaline) 은 나노 미터 스케일 장치의 비용 효율적인 에칭 및 애싱 에셋이며, 미세 조정 에칭 및 애싱 시스템이 필요한 다양한 실험실에 적합합니다. Versaline은 나노 스케일의 에칭 기질에서 뛰어난 성능, 정확성 및 신뢰성을 제공합니다.
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