판매용 중고 PLASMATHERM Versaline #293623685

PLASMATHERM Versaline (PLASMATHERM Versaline) 은 실험실 및 업계 전문가의 요구를 충족시키기 위해 설계된 다양한 에칭 및 애싱 에칭 장비입니다. 버살린 (Versaline) 은 품질 에칭에 필요한 신뢰할 수 있고, 반복 가능한, 고정밀 에칭 및 애싱 프로세스와 상업용 생산에 필요한 혁신적인 디자인 및 폐쇄 루프 프로세스 제어 기능을 결합합니다. PLASMATHERM Versaline은 13형, 고대비 LCD 터치스크린 디스플레이로 작동이 간편하며, 운영 처리량을 극대화하는 최대 8개의 워크스테이션을 지원하는 모듈식 설계입니다. MGC (Multi-Gas Control) 시스템은 사용자가 특정 프로세스 요구 사항을 충족하기 위해 비활성 가스와 반응성 가스 중에서 선택할 수 있는 유연성을 제공합니다. 버살린 (Versaline) 의 종합적인 프로덕션 모니터링 및 추적 장치를 사용하면 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스의 모든 측면을 처음부터 끝까지 정확하게 모니터링하고 제어할 수 있습니다. PLASMATHERM Versaline은 최적의 에칭 및 애싱 성능을 위해 2 단계 유도 결합 플라즈마 (ICP) 소스로 구동됩니다. 베르살린 (Versaline) 은 최첨단 디지털 전원 공급 장치를 사용하여 에칭 및 애싱 (ashing) 프로세스에 대한 탁월한 제어를 위해 최대 3,000 와트의 전력을 공급합니다. PLASMATHERM Versaline의 세밀하게 조절 가능한 전기 기계식 모션 머신은 웨이퍼의 정확한 위치를 보장합니다. Versaline은 높은 처리량 생산 및 균일 한 에칭/애싱 결과를 위해 균일 한 플라즈마 밀도로 다양한 작업 챔버 형상을 제공합니다. PLASMATHERM Versaline은 품질 에칭 및 애싱 결과를 보장하기 위해 스테인리스 스틸 챔버로 설계되었습니다. 화학 물질 인 베르살린 (Versaline) 이 처리 할 수있는 과정은 고귀한 가스, 할라이드 및 희토류 화합물에 국한되지 않습니다. 챔버 커버 (chamber cover) 는 에칭 연기와 미립자 물질을 함유하여 이전에 에칭 된 웨이퍼의 오염을 최소화하도록 설계되었습니다. PLASMATHERM Versaline에는 다양한 고성능 옵션도 있습니다. Versaline (Versaline) 의 통합 제어 툴을 사용하면 프로세스 레시피를 사용자 정의하고 나중에 실행할 수 있습니다. 온보드 분석기 (On-board Analyzer) 는 에칭 및 애싱 프로세스 동안 챔버의 가스 구성을 모니터링하여 최적의 프로세스 제어를 할 수 있습니다. PLASMATHERM Versaline (PLASMATHERM Versaline) 은 또한 진단 및 분석 기능이 내장된 프로세스 모니터링 모듈을 통해 품질 결과를 보장하고 프로세스 일관성을 극대화합니다. 베르살린 (Versaline) 은 실험실 또는 산업 생산 환경의 요구 사항을 충족하도록 설계된 혁신적인 에칭 및 애싱 에칭 자산입니다. PLASMATHERM Versaline (Versaline) 의 고급 운영 모델, 정밀 프로세스 제어 및 모듈식 설계는 신뢰할 수 있고, 반복 가능하며, 정확한 에칭 및 애싱 결과에 이상적인 선택입니다.