판매용 중고 PLASMATHERM Versaline #293621803

PLASMATHERM Versaline etcher/asher는 뛰어난 부품 에칭, 웨이퍼 클리닝 및 표면 처리 기능을 제공하기 위해 설계된 고급 플라즈마 에치 및 재 장비입니다. 이 시스템은 에칭/애쉬 (etching/ash) 솔루션 업계의 특정 요구 사항과 추세를 충족하도록 사용자 정의할 수 있는 모듈식 구성 요소로 구성되어 있습니다. Versaline의 공정 챔버는 304 스테인리스 스틸과 PFA 라이너로 구성됩니다. 이 에처/애셔는 진공 밀봉, 가스 타이트 및 산성 저항으로 안정적이고 안전한 작동을 보장합니다. 강력한 전기장 발전기 (electric field generator) 는 작동 온도와 압력 수준이 다양한 산소 또는 질소 대기에서 공정 챔버에 플라즈마를 만듭니다. 이 플라즈마를 사용하면 PLASMATHERM Versaline이 복잡한 모양, 휴지통 및 패턴을 금속, 합금, 세라믹 및 반도체에 대한 높은 정밀도 및 반복 성을 에치 할 수 있습니다. 에칭 공정은 일반적으로 유기 용매로 에칭, 젖은 산화, 반응성 이온 에칭 (RIE) 과 같은 일련의 화학 공정에 의해 수행된다. 이 장치는 두 가지 별개의 에칭 기술, 즉 "습식 화학 에칭" 과 "반응성 이온 에칭" 을 제공합니다. 또한, 베르살린 (Versaline) 은 또한 습하고 건조한 에칭 공정을 특징으로하며, 이는 산업 구성 요소 제조에 유익합니다. 이 에처/애셔는 화학 및 기계 오염 물질에 내성이 있으며, 화학 기계 연마 (CMP) 및 플라즈마 가공을 포함한 다양한 응용 분야에 사용될 수 있습니다. PLASMATHERM Versaline (PLASMATHERM Versaline) 은 또한 높은 감도, 높은 정밀도 및 에칭 속도와 깊이를 정확하고 반복적으로 제어하는 기능과 같은 요인의 조합으로 인해 뛰어난 표면 준비 성능을 제공합니다. 전반적으로, Versaline etcher/asher는 고급 에칭/애쉬 솔루션 요구를 충족하도록 설계된 고급적이고 신뢰할 수있는 기계입니다. 이 제품은 화학적 기계적 연마 (mechanical polishing) 및 플라즈마 (plasma) 처리 기능과 함께 뛰어난 정밀도 및 반복성을 갖춘 다재다능한 에칭 및 애쉬 기능을 제공합니다.