판매용 중고 PLASMATHERM Versaline DSE PM I #293771449

PLASMATHERM Versaline DSE PM I (Versaline DSE PM I) 은 최첨단 플라즈마 에처 및 애셔 장비로, 반도체 및 마이크로 일렉트로닉스 제조에 사용되는 광범위한 재료의 정확하고 고성능 처리를 위해 설계되었습니다. 이 고급 도구는 통일성 (Uniformity), 반복성 (Repeatability) 및 프로세스 신뢰성 측면에서 최적의 결과를 얻기 위해 프로세스 매개변수에 대한 미세 조정 제어가 필요한 응용 프로그램을 위해 특별히 설계되었습니다. 베르살린 DSE PM (Versaline DSE PM) 의 핵심에는 다양한 유형의 기판 처리에 유연성과 효율성을 제공하는 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스를 모두 수행 할 수있는 다목적 이중 소스 플라즈마 시스템이 있습니다. 이 장치에는 반응 실에서 고밀도 플라즈마를 생성하는 고주파 RF (High-Frequency RF) 전원 공급 장치가 장착되어 있으며, 특성과 조성이 다른 재료의 정확하고 균일 한 에칭 및 재싱이 가능합니다. PLASMATHERM Versaline DSE PM I (PLASMATHERM Versaline DSE PM I) 은 챔버 내에서 플라즈마 환경을 만들고 유지하는 데 필요한 조건을 제공하는 강력한 진공기를 갖추고 있습니다. 공구에는 터보 분자 펌프 (turbomolecular pump) 와 드라이 펌핑 (dry pumping) 자산이 장착되어 있어 원하는 처리 조건을 빠르고 효과적으로 달성하기 위해 챔버가 빠르게 대피합니다. 이 효율적인 펌핑 (pumping) 모델은 또한 민감한 재료를 처리하는 동안 전체 장비 안정성과 안정성에 기여합니다. Versaline DSE PM I (Versaline DSE PM I) 의 주요 특징 중 하나는 고급 프로세스 제어 기능으로, 애플리케이션의 특정 요구 사항에 따라 사용자가 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스를 세부적으로 조정하고 최적화할 수 있게 해 줍니다. 이 시스템에는 가스흐름 속도 (Gas Flow Rate), RF 전원 수준 (Power Level), 공정 압력 (Process Pressure), 온도 (Temperature) 와 같은 프로세스 매개변수를 쉽게 프로그래밍 및 조정할 수 있는 사용자 친화적 인터페이스가 장착되어 있어 사용자가 처리 조건에 대한 정확한 제어를 얻을 수 있습니다. PLASMATHERM Versaline DSE PM I (Versaline DSE PM I) 에는 다양한 안전 기능과 인터 록이 장착되어 있어 장치의 안전한 작동을 보장하고 장비와 운영자를 모두 위험 요소로부터 보호합니다. 이 기계에는 가스 흐름 센서, 압력 센서, 온도 센서, 기타 모니터링 장치가 장착되어 있어 프로세스 매개변수를 지속적으로 모니터링하고 안정적이고 안전한 처리 상태를 유지하기 위해 제어 (Control) 도구에 대한 실시간 피드백을 제공합니다. 전반적으로 Versaline DSE PM I (Versaline DSE PM I) 는 최첨단 플라즈마 에처 및 애셔 에셋으로, 반도체 및 마이크로 일렉트로닉스 업계의 광범위한 어플리케이션에 대해 높은 수준의 성능, 다용도 및 신뢰성을 제공합니다. 고급 기능, 정확한 제어 기능, 견고한 설계 기능을 갖춘 이 모델은 연구 개발 (Research and Development) 과 뛰어난 프로세스 성능, 품질이 필수적인 대용량 생산 환경에 적합합니다.