판매용 중고 PLASMATHERM / UNAXIS VLR #9205770

PLASMATHERM/UNAXIS VLR은 대형 기판 처리를 위해 설계된 독특한 드라이 에칭 및 애싱 도구입니다. 이 장비는 직경이 최대 300mm 인 기판을 처리하도록 설계되었으며, 최대 에치 속도 (10 미크론/분) 는 대용량 생산의 가장 높은 수요를 충족시킬 수 있습니다. 대용량 생산 기능 외에도 UNAXIS VLR 은 탁월한 표면 기능, 높은 생산성, 낮은 운영 비용을 제공합니다. 이 시스템은 산화물 기반, 유전체, 유기 및 중합 물질을 포함한 다양한 기질 물질을 처리 할 수 있습니다. 다재다능한 챔버 구성은 또한 플라즈마 중합, 플라즈마 에치, 드라이 에치, 표면 활성화, 금속 에치와 같은 다양한 제어 에치 프로세스를 허용합니다. 이 장치는 또한 다양한 유형의 기판에 대한 순차 에치 프로세스 (etch process) 의 가능성을 제공하여 복잡한 구조와 3D 형상을 가진 장치의 생산을 가능하게합니다. 이 기계의 고유한 기능 세트는 최고의 품질 (Quality) 및 성능 (Performance) 표준을 충족하도록 설계되었습니다. Dual-Vacuum Chamber는 효율적인 프로세스 시간과 일관된 높은 처리량을 제공합니다. 고급 PCMon (Process Control Monitoring Tool) 은 반복 가능한 정밀도 프로세스를 보장하는 반면, CAD 호환성 (옵션) 을 사용하면 처리량을 극대화할 수 있습니다. 또한 이 자산은 CE Mark, EU-EMC Directive, UL/CSA 등 다양한 인증 및 안전 표준과 호환됩니다. PLASMATHERM VLR은 강력한 온보드 사용자 인터페이스와 네트워크 시스템에 연결할 수 있는 여러 디지털 I/O 포트를 제공합니다. 통합 진단 모델 (Diagnostics Model) 과 운영 소프트웨어 (Operating Software) 는 자동화된 설정 및 작동을 제공하며 실시간 추세 분석 및 데이터 로깅은 프로세스 매개변수 및 상태를 완벽하게 제어합니다. 뿐 만 아니라, 이 장비 에는 안전 연동 장치, 차폐 "가스 '및 환경 친화적 인 용액 을 위한 산화 지연제 가 들어 있다. 전반적으로 VLR은 대용량 생산에 이상적인 고급형 etcher/asher입니다. 이 제품은 고성능 기능, 직관적인 사용자 인터페이스, 친환경적인 솔루션의 독보적인 조합을 제공합니다. 이 시스템은 다양한 기판과 프로세스를 통해 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 작업을 정확하게 제어하고 반복할 수 있어야 하는 사용자에게 적합합니다.