판매용 중고 PLASMATHERM / UNAXIS VLR #9139629

PLASMATHERM/UNAXIS VLR은 일반적으로 반도체 처리 및 기타 응용 프로그램에 사용되는 etcher/asher 유형입니다. 고온 플라즈마 제트 (Plasma Jet) 및 기타 통합 부품을 사용하여 시간당 수백 개의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 전체 장비는 사용자 친화적이지만 효율성을 갖추도록 설계되었으며, 다양한 안전 기능 (Safety Feature) 을 통해 홈 (Home) 연구실뿐만 아니라 두 전문가 환경에 적합한 옵션을 제공합니다. UNAXIS VLR에는 대기와 진공 시스템에 개방되는 액체 생산성 챔버 (Liquid Productivity Chamber) 를 통해 고도로 집중된 플라즈마 제트를 보내는 높은 정밀 평면 웨이브 가이드 (waveguide) 가 포함되어 있습니다. 플라즈마 제트 (plasma jet) 는 1000 ° C 이상의 온도에 도달 할 수 있으며 웨이퍼 표면에서 재료를 제거하는 데 사용됩니다. 액체 생산성 챔버 (Liquid Productivity Chamber) 는 챔버 내 온도 및 부식 환경을 제어하기 위해 독립적 인 재순환 액체 공급을 포함하는 300mm 석영 선박입니다. 이 장치에는 통합 냉각 모듈 (Integrated Cooling Module) 과 컴퓨터 인터페이스 (Computer Interface) 가 포함되어 있어 에칭 프로세스를 프로그래밍 및 모니터링할 수 있습니다. 냉각 모듈 (cooling module) 은 에칭 프로세스가 완료된 후 기판을 빠르게 냉각시켜 빠르고 효율적인 생산 주기를 가능하게 합니다. 컴퓨터 인터페이스 (computer interface) 는 시스템의 프로그래밍뿐만 아니라 실시간 모니터링 및 데이터 로깅 (data logging) 을 허용합니다. 따라서, 사용자는 프로세스 조건과 결과를 모두 모니터링하여 최고 수준의 정밀도 (precision) 를 유지하기 위해 노력할 수 있습니다. 마지막으로 PLASMATHERM VLR (PLASMATHERM VLR) 은 또한 다양한 안전 기능을 제공하여 웨이퍼 또는 사용자의 손상 위험을 최소화합니다. 인력이 에칭 (etching) 과정에서 사용되는 부식성 화학 물질과 접촉하는 것을 방지하는 폐쇄 도구 (closed tool) 와 자산이 안전하고 효율적으로 작동하도록 하는 여러 통합 센서 (integrated sensor) 가 포함됩니다. 전반적으로 VLR은 효율적이고 신뢰할 수있는 etcher/asher로, 시간당 수백 개의 웨이퍼를 정확하게 처리 할 수 있습니다. 고온 플라즈마 제트 (Plasma Jet), 냉각 모듈 (Cooling Module), 통합 안전 기능 (Integrated Safety Features) 및 컴퓨터 인터페이스 덕분에 전문가와 가정용 설정 모두에 적합하며, 높은 정밀도의 웨이퍼를 생산하는 데 효과적이고 효율적인 모델을 제공합니다.