판매용 중고 PLASMATHERM / UNAXIS VLR 700 #9075710
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판매
ID: 9075710
웨이퍼 크기: 8"
ICP System, 8"
Single chamber
Front end
Robot
ICP Process module
Equipped with ICP source
(8) Gas channels
Transfer module: HINE 4.5 robot
Load module: Dual cassette platform, 8"
PLASMATHERM Design
Wafer mapping sensors
Mag lev turbo
Turbo controller
Process baratron.
PLASMATHERM/UNAXIS VLR 700은 정밀도가 높은 빠르고 정확하게 마이크로 머신 어려운 재료를 위해 설계된 최첨단 에처/애셔입니다. 선형 드라이브 시스템, 강력한 진공실, 내구성, 저온 플라즈마 헤드 등 다양한 고급 에처/애셔 (etcher/asher) 기술을 갖춘 동급 최고의 제품입니다. 선형 드라이브 시스템을 사용하면 매끄럽고 빠르고 정확한 머시닝을 수행할 수 있습니다. 열 팽창 (thermal expansion) 으로 인한 워핑 (warping) 및 오열 (misalignment) 을 제거하여 매우 민감한 재료에서도 안정적인 작동을 보장하도록 설계되었습니다. 고정밀 진공실은 뛰어난 공정 제어 및 반복성, 조절 가능한 가스 흐름, 조절 가능한 압력 수준을 제공합니다. 이것은 최소 물질 폐기물로 균일 한 에칭 및 재싱을 보장합니다. Plasma Head는 저온 및 고온 프로세스 모두에 대해 일관된 온도 제어를 제공합니다. '자가 정렬 노즐 (self-aligning nozzle)' 을 통해 반응성 가스를 정확하게 전달할 수 있으며, 정밀 피드백 제어를 통해 각 프로세스가 최대한의 정확도를 위해 최적으로 설정되도록 합니다. 또한, 플라즈마 헤드 (Plasma Head) 는 오염을 최소화하고 공구의 수명을 연장하고 깨끗한 결과를 보장하도록 설계되었습니다. 다양한 호환 챔버 소재 (compatible chamber materials) 를 통해 UNAXIS VLR 700은 다양한 에칭 및 애싱 프로세스에 적합하므로 사용자가 뛰어난 정밀 마이크로 머치를 달성 할 수 있습니다. 조정 가능한 레시피 매개변수와 소프트웨어 자동화 (software automation) 가 특징이며, 프로토 타입 생산 및 대용량 작업에 이상적입니다. 이 툴은 또한 간편한 운영 및 유지 관리를 위해 설계되었습니다. 즉, 유지 보수 작업을 빠르고 간편하게 수행할 수 있습니다. 전체적으로 PLASMATHERM VLR 700은 사용자에게 탁월한 성능과 정확도를 제공하는 고급 etcher/asher입니다. 리니어 드라이브 시스템 (Linear Drive System), 강력한 진공 챔버, 정밀 플라즈마 헤드, 조정 가능한 레시피 매개변수, 다양한 작업에 적합한 소프트웨어 자동화 등 다양한 기능과 기능을 제공합니다. 단순한 운영 및 유지 관리를 위해 설계되었으며, 최소한의 폐기물로 높은 정확성과 반복 (repeatability) 을 달성할 수 있습니다.
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