판매용 중고 PLASMATHERM / UNAXIS Versalock #9227498

PLASMATHERM/UNAXIS Versalock은 UNAXIS Technologies, Inc.에서 개발 한 최첨단 에처 및 애셔입니다. 기존의 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 방법에 비해 탁월한 성능과 프로세스 유연성을 제공합니다. UNAXIS Versalock은 고출력 RF 소스와 멀티 챔버 진공 시스템을 사용하여 에칭 및 애싱 기능을 모두 지원하는 고급 플라즈마 에칭 및 애싱 장비입니다. PLASMATHERM Versalock은 2 개의 완전히 통합 된 열 흐름 챔버 (thermal-flow chamber) 와 2 개의 마그네트론 및 2 개의 플라즈마 제트를 결합하여 특정 건식 플라즈마 에칭 프로세스를 균등하고 빠르게 제공합니다. 버설록 (Versalock) 은 매우 정확하고 고급 제어 장치를 특징으로하여 전력, 가스 흐름, 압력, 온도 등 에칭 매개변수를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 이를 통해 에칭 (etching) 프로세스를 완벽하게 제어하여 제품 성능을 최적화할 수 있습니다. PLASMATHERM/UNAXIS Versalock에는 4 개의 독립 가스 원자로가 있으며, 이는 오염의 영향을 줄이고 정확성을 높이는 데 도움이됩니다. UNAXIS Versalock (UNAXIS Versalock) 은 새로운 모듈식 및 상호 교환 가능한 구성 요소 머신을 갖추고 있으며, 사용자는 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 시스템을 애플리케이션과 더 잘 일치하도록 빠르고 사용자 정의할 수 있습니다. 이를 통해 사용자는 프로세스를 보다 효율적으로 수행하고 PLASMATHERM Versalock 기능을 최대화할 수 있습니다. Versalock은 또한 높은 진공 펌핑 속도를 특징으로하여 건조 시간이 더 빠르고 처리량이 더 빠릅니다. 전체적으로 PLASMATHERM/UNAXIS Versalock은 뛰어난 성능, 유연성 및 정밀도를 제공하는 고도의 etcher 및 asher 도구입니다. 모듈식 및 상호 교환 가능한 구성 요소, 높은 진공 펌핑 속도를 쉽게 구성할 수 있는 UNAXIS Versalock은 정밀 에칭 및 재싱을 위한 완벽한 도구입니다.