판매용 중고 PLASMATHERM / UNAXIS Versaline #293817395

PLASMATHERM/UNAXIS Versaline은 플라즈마 에칭으로 드라이 에칭하도록 설계된 에처/애셔입니다. 다양한 반도체 장치 처리 응용 분야를 위해 기판을 에칭 및 애싱 할 수 있습니다. 이 장비는 항공 우주 및 자동차 전자 공업에 적합하며, 다양한 크기 기하학의 복잡한 3D 기능을위한 강력한 드라이 에칭 (dry etching) 도구입니다. 다용도 플라즈마 소스를 사용하여 최적의 에칭 결과를 보장함으로써 정확한 패턴화 (patterning), 우수한 균일성 (unifority) 및 향상된 처리량을 제공합니다. UNAXIS Versaline은 5.9 "너비의 다중 레벨 플라즈마 소스를 특징으로하며, 에칭 프로세스를 정확하게 제어하여 정확한 나노 패턴화 및 고가로 비율 에칭을 허용합니다. 플라즈마 소스는 에칭 가스로 아르곤을 사용하는데, 이는 O2 및 CF4 플라즈마 에칭이 모두 가능합니다. 이를 통해 다양한 유형의 재료가 다양한 에칭 속도를 가질 수 있습니다. 또한, 자동 로드/언로드 장비와 결합된 PLASMATHERM Versaline의 고급 로봇 암 (robot arm) 기술은 자동화된 생산 솔루션을 제공하며 많은 수동 프로세스를 제거하여 처리량 및 전체 시스템 생산성을 향상시킵니다. 베르살린 (Versaline) 에는 이온 화 된 물 린스 (Dete-ionized water rinse) 와 건식 (dry-off) 기술을 모두 활용하는 통합 클리닝 장치가 있습니다. 또한, 재 처리 과정을 돕기 위해 표면 처리 칠러 모듈이 있습니다. PLASMATHERM/UNAXIS Versaline's monitoring machine 은 에칭 및 어싱 프로세스를 실시간으로 모니터링 및 분석하여 최적의 결과를 보장하는 고급 데이터 획득 툴을 제공합니다. 이 에셋에는 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 가 포함되어 있으며, 에칭 (Etching) 및 애싱 (Ashing) 시 프로세스를 모니터링할 수 있는 동작 제어 기능이 있는 고해상도 카메라가 포함되어 있습니다. UNAXIS Versaline에는 적절한 작동을 보장하는 강력한 안전 모델이 있습니다. 이 장비에는 비상 정지, 배기 밸브, 광학 및 전기 안전 센서, 경보 및 상태 표시기가 포함됩니다. 그 에 더하여, 이 "시스템 '은 정결 한 작업 환경 을 보장 하기 위하여 기계 로부터 원치 않는" 가스' 를 배출 하는 방출 조절 장치 의 감소 를 갖추고 있다. PLASMATHERM Versaline은 마이크로 전자 산업에 이상적인 강력하고 유연한 에처/애셔입니다. 고급 플라즈마 소스 (Plasma Source) 와 자동화된 로딩 도구 (Automated Loading Tool) 로 인해 우수한 결과를 얻을 수 있으며, 통합 안전 자산은 에칭 프로세스가 안전한 방식으로 수행되도록 보장합니다. 복잡한 3D 기능이나 나노스케일 (nanoscale) 기능이 필요하고 처리량과 균일성이 향상된 어플리케이션에 적합합니다.