판매용 중고 PLASMATHERM / UNAXIS SLR #9275973

PLASMATHERM/UNAXIS SLR은 하드 재료의 정확한 마이크로 머신을 위해 설계된 고속 플라즈마 에칭 및 애싱 솔루션입니다. 반도체, MEMS (micro-electromechanical system) 등 첨단 기술 애플리케이션 생산에 이상적인 다양한 기능을 갖추고 있다. UNAXIS SLR은 최대 300mm x 600mm 기판을 처리할 수 있는 고급 프로세스 유연성과 높은 생산성을 위해 설계되었습니다. 그것 은 금속제, 도자기, 중합제 등 매우 다양 한 물질 을 부수고 에칭 하는 데 적합 하며, 최대 60 "미터 '/분 의" 에치 '율 을 낸다. 플라즈마 에칭 및 애싱 장비는 3 암 로봇 플랫폼에 구축되어 기판을 정확하게 처리 할 수 있습니다. 쌍압 기술은 전체 기판에서 가장 정밀도가 높은 균일 한 에치 속도를 제공합니다. 또한 업계에서 가장 빠르고 강력한 에치/애쉬 (etch/ash) 시스템 중 하나를 제공합니다. PLASMATHERM SLR은 고급 플라즈마 제어 시스템을 사용하여 고품질 마이크로 머신 구조를 제공합니다. 3 단계 플라즈마 추출 시스템은 높은 기판 수율과 낮은 운영 비용을 보장합니다. 조정 가능한 플라즈마 소스는 또한 기판 재료 특성과 무관하게 최적의 에치 레이트 및 균일 성을 보장합니다. 이 장치는 또한 염소, 산소, 질소, 아르곤 등 다양한 플라즈마 가스 옵션을 제공하여 다른 물질을 적용 할 수 있습니다. 또한 대용량 (high-volume) 및 저용량 (low-volume) 운영을 위한 정교한 프로세스 자동화를 통해 최소한의 운영자 개입으로 높은 기판 수율을 보장합니다. SLR은 또한 신뢰성이 높으며, 고성능 (HPS) 뿐만 아니라 여러 해간의 문제 없는 운영을 제공합니다. 통합 풋스위치를 사용하면 기계의 안전한 원격 제어가 가능합니다. 컴팩트한 디자인과 손쉽게 설치할 수 있는 PLASMATHERM/UNAXIS SLR은 빠른 처리량, 뛰어난 정밀도, 높은 제품 수율을 요구하는 어플리케이션을 위한 탁월한 선택입니다.