판매용 중고 PLASMATHERM / UNAXIS SLR #9262446

PLASMATHERM/UNAXIS SLR은 Si, GaAs, SOI, GaN, RTP 및 PECVD를 포함한 고급 재료의 높은 청결, 고성능 에칭 및 애싱을 위해 특별히 설계된 고급 에처/애셔입니다. 이 도구는 새로운 디자인의 단일 RF 전원 공급 장치 (단일 RF 전원 공급 장치) 로, 균일성을 향상시키고, 뛰어난 오버에치 (overetch) 예방에 기여하며, 뛰어난 프로세스 안정성을 보장합니다. 단일 RF 펌프는 또한 각 히터의 열 예산을 줄여 에치 타임 (etch time) 을 단축시킵니다. 이 시스템과 함께 제공되는 소프트웨어 패키지는 소스 전원 및 전원 수준 제어에서 펄스 시간 제어 (Pulse Time Control) 및 챔버 안정성 (Chamber Stability) 에 이르기까지 모든 RF 전원 매개변수를 제어합니다. 플라즈마 모니터링에 사용되는 샘플링 카메라 장비는 정확한 비파괴 프로세스 모니터링을 통해 현장 (in-situ) 프로세스 최적화를 가능하게 합니다. 또한, 제어 시스템은 프로세스 레시피의 설정 (setup) 과 수정 (modify) 을 통해 광범위한 새로운 혁신적인 프로세스 시스템을 가능하게 합니다. 이 도구는 정밀도를 높이고 프로세스 제어 유연성을 향상시키기 위해 전자 레인지 (microwave) 기술 기반의 전원 장치를 추가로 장착합니다. 또한, 극저온 냉각기를 옵션으로 사용할 수 있으며, 일부 재료의 경우 -100 ° C 근처의 공정 온도를 허용합니다. 또한, 공구는 프로세스 오염을 줄이고 에치 균일성을 향상시키기 위해 다양한 진공 시스템에 설치됩니다. UNAXIS SLR에는 고급 자체 수정 종점 탐지 도구가 있어, 오버캐치를 방지하고 반복 가능성을 보장합니다. 기계의 표준 공정 챔버에는 에칭을위한 75.4mm x 102mm 가용 창 면적과 15.2 리터 에치 볼륨이 있습니다. ceramicliner 업그레이드를 사용하여 추가 업그레이드하면 사용 가능한 창 영역을 43.4%, etch 볼륨을 50% 증가시킬 수 있습니다. PLASMATHERM SLR (PLASMATHERM SLR: PLASMATHERM SLR: PLASMATHERM SLR: PLASMATHERM SLR) 은 고급 디바이스를 제작하는 데 이상적인 툴로서, 우수한 eching 통일성, 안정성, 안정성, 안정성, 최첨단, 최첨단 모니터링 시스템 기능을 제공하는 툴을 원하는 프로세스를 찾는 프로세스 엔지니어링