판매용 중고 PLASMATHERM / UNAXIS SLR #9250539

PLASMATHERM/UNAXIS SLR은 UNAXIS 회사의 하이엔드 애플리케이션을 위해 설계된 고급 에칭 및 애싱 장비입니다. 멀티 챔버 디자인과 다중 에칭 앤 애싱 시스템 (multiple etching and ashing system) 을 갖춘 고성능 드라이 에칭 도구입니다. 그것 은 여러 가지 물질 의 증착 과 "에칭 '이 복잡 한 구조 와" 패턴' 을 형성 할 수 있는 높은 진공실 을 가지고 있다. 이 도구에는 처리 시간을 단축하기 위해 선 사이의 간격을 제어하고 정확한 패턴을 만드는 고속 (High Speed) 다중 단계 평면 (Multi-Stage Planarizing) 시스템도 있습니다. 또한 에치 (etch), 애싱 (ashing) 시간 및 프로세스를 신속하게 변경하여 프로세스 성능을 최적화할 수 있습니다. 약실 은 여러 개 의 "에칭 '및" 애싱' 장치 로 표시 할 수 있으며, 모두 고압 과 온도 에서 작동 할 수 있다. 이를 통해 단위는 다른 에치 (etch) 및 애싱 (ashing) 프로세스를 다른 웨이퍼 및 기판에 적용 할 수 있습니다. 기계는 또한 여러 에치 단계를 적용하여 복잡한 구조로 고해상도 패턴 (high resolution pattern) 을 만들 수 있습니다. 가스공구 (Gas Tool) 와 고급 광학 시스템 (Optical System) 의 조합으로, 에셋은 결함률이 낮고 재현성과 균일성이 높은 재료를 에치 (etch) 하고 재현력을 높일 수 있습니다. 이 모델은 또한 과열 및 산화를 피하기 위해 가장 높은 압력 및 낮은 온도에서 공정을 적용 할 수 있습니다. 장비는 단면 및 양면 기판, LCD, 필름, 금속 등과 같은 재료에 다양한 에치 및 애싱 프로세스를 적용할 수 있습니다. 또한 자동 실행 (run-to-run) 시스템 및 오류 수정 장치가 있어 etch/ash 프로세스의 생산성을 향상시킬 수 있습니다. UNAXIS SLR (UNAXIS SLR) 은 고해상도 패턴에 중요한 기판을 정확하게 정렬하기 위해 고급 웨이퍼 정렬 머신과 함께 제공됩니다. 전체적으로 PLASMATHERM SLR은 복잡하고 복잡한 패턴에서 LCD, 필름, 금속 등에 이르기까지 다양한 애플리케이션에 사용할 수있는 고급 에칭 및 애싱 도구입니다. 또한 높은 압력과 낮은 온도에서 처리할 수 있으며, 자동 웨이퍼 (wafer) 정렬 및 실행 (run-to-run) 시스템을 통해 정확하고 반복 가능한 프로세스와 높은 생산성을 보장합니다.