판매용 중고 PLASMATHERM / UNAXIS SLR 740 #9284674

PLASMATHERM/UNAXIS SLR 740은 MEMS 및 마이크로 제조 응용 프로그램에서 슬래브와 웨이퍼의 초정밀 플라즈마 에칭 및 재싱을 위해 설계된 고급 etcher/asher입니다. 최소 0.2 m 규모의 패턴을 생산하는 한편, 연마제 방법에 비해 뛰어난 반복성을 제공합니다. 이 장비는 고해상도 압력 차등 시스템과 결합 된 펄스 직류 플라즈마 소스 (pulsed direct-current plasma source) 로 설계되어 에칭되고 재시 될 표면 근처의 차동 압력 영역을 만들고 유지합니다. 이를 통해 플라즈마 칼집을 더 잘 제어하고 재료의 온도 에칭/재싱을 낮출 수 있습니다. UNAXIS SLR 740에는 프로세스 제어 및 품질 향상을 위해 멀티 스테이지 플라즈마 에칭/애싱 기술도 포함되어 있습니다. 이 장치의 고급 기능에는 고밀도 및 반복 가능한 고체 RF 생성기가 포함되어 있으며, 기능당 저렴한 비용으로 일관되고 안정적인 에칭, 애싱, 이미징을 보장합니다. 또한, 기계에는 여러 가스 세트에 사용할 전용 연속 유동 가스 전달 모듈이 장착되어 있습니다. 이것은 저온 에칭/애싱 (etching/ashing) 이 필요한 응용 프로그램에 이상적이며 일관되고 정확한 플라즈마 결과를 보장합니다. 또한 Vector Plus (Vector Plus) 제어 및 규정 준수 소프트웨어 (레시피 및 레시피 보안 제한 없음), 모든 프로세스 관련 매개변수를 모니터링 및 로깅할 수 있는 지능형 사용자 친화적 그래픽 인터페이스도 포함되어 있습니다. 이 자산은 다양한 UNAXIS 및 비 PLASMATHERM 자동 처리 시스템 및 진공 (vacuum) 기술과 호환되므로 유연성이 향상되고 도구 활용도가 향상됩니다. 실리콘, 사파이어, 폴리실리콘, 알루미늄 등 다양한 재료를 에치/애쉬 (etch/ash) 하고 최소 기능 크기가 0.2 "m 이하인 PLASMATHERM SLR 740은 모든 MEMS 및 마이크로 제조 어플리케이션에 대한 지능형 선택입니다.