판매용 중고 PLASMATHERM / UNAXIS SLR 730 #293660356

PLASMATHERM/UNAXIS SLR 730 etcher/asher는 반도체 산업을위한 실리콘 웨이퍼의 에칭 및 재싱을위한 매우 정확하고 강력한 생산 도구입니다. 새로 설계된 8 챔버 (8-chamber) 공정 챔버와 생산 라인 프로세스 레시피의 최고의 에칭 및 애싱 성능을 위해 넓은 공정 영역을 갖추고 있습니다. 높은 진공 및 저압의 대량 생산, 최고의 균일성 (unifority) 및 재현성 (reproducibility) 에 대한 보다 효율적인 프로세스 결과를 제공합니다. UNAXIS SLR 730에는 깊이, 프로파일, 서피스 마무리 측면에서 균일하고 정확하고 견고한 에칭을 보장하는 안정적인 RF 생성기가 장착되어 있습니다. 고급 선형 모션 시스템 (Linear Motion System) 과 튜닝 주파수 (Tuned-In Frequency) 덕분에 고해상도 및 반복 가능한 프로세스로 직경이 최대 300mm 인 웨이퍼를 에칭 할 수 있습니다. 최첨단 컴퓨터 제어, 자동 튜닝 제어는 모든 cavities와 etching 시간 사이의 균일성을 보장합니다. 또한, PLASMATHERM SLR 730은 통일성 에칭을 위해 최적의 가스 흐름을 보장하는 독특한 가스 전달 시스템을 사용합니다. 이 시스템은 모든 챔버 (chamber) 에서 균일 한 유량 (flow rate) 을 챔버 (chamber) 로 균일 한 가스 분포를 제공하여 높은 진공 및 깨끗한 공정 공정에서 가스 사용률을 향상시킵니다. 또한 SLR 730은 모듈 식 인터페이스 및 챔버, 필터 튜브, 지원 구조, 컨베이어, 진공 및 가스 전달 라인과 같은 부품으로 구성됩니다. 또한 시간 크리티컬 프로세스 제어 및 감지를 처리하는 PLC (Modular Programmable Logic Controller) 를 통합하고 동적 디스플레이, 매개변수 조정 및 추적 기능을 제공합니다. 최고 신뢰성과 안전성을 보장하기 위해 PLASMATHERM/UNAXIS SLR 730 etcher/asher는 스테인리스 스틸 내부 및 외부, 장애 안전을위한 중요한 기능 구성 요소에 내장된 이중화, 가스켓 포함 플랜지, 전자 키 잠금 장치, 누출 탐지기 및 온도 센서. 또한 적용 가능한 모든 안전, 건강 규정 및 표준을 준수합니다.