판매용 중고 PLASMATHERM / UNAXIS SLR 720 #9201916

PLASMATHERM/UNAXIS SLR 720은 반도체 제조에 사용되는 고급 플라즈마 에칭 및 애싱 시스템입니다. 건식 에칭 (dry etching) 을 수행하여 나노 미터 스케일 (nanometer scale) 의 기능을 생성하면서 좋은 공정 반복 성과 생산 수율을 유지할 수 있습니다. etcher/asher에는 자체 고급 컨트롤러가 있으며 30 인치 플라즈마 소스가 장착되어 최대 에칭 용량 (20w/cm2) 이 가능합니다. 고성능 멀티태스킹 (Multi-Tasking) 진공 시스템 (Vacuum System) 으로 구동되며, 안정적인 프로세스 환경을 유지하면서 에칭 매개변수를 빠르게 전환할 수 있습니다. 고급 에칭 기술을 통해 에치 프로세스를 나노 미터 (sub-nanometer) 해상도까지 정확하게 제어 할 수 있습니다. 이 장치는 직관적인 사용자 친화적 GUI (Graphical User Interface) 를 통해 실시간 프로세스 정보를 전달합니다. 자체 모니터링 시스템을 통해 UNAXIS SLR 720은 실시간으로 프로세스 조건을 감지하고 조정할 수 있습니다. 이온 에너지, 가스 압력, 냉각 등의 분야에서 매개 변수를 조정하여 고급 프로세스 최적화를 제공합니다. 에처/애셔 (etcher/asher) 는 진단 및 상태 모니터링 시스템을 내장하여, 가능한 문제를 감지하고 적절한 시기에 최종 제품의 고품질을 보장할 수 있습니다. 장비의 안전한 운영을 위해 오염 방지 (Anti-contamination) 및 내장 안전 시스템이 장착되어 있습니다. 이 단위에는 넓은 공정 창이 있으며 이완기, 갈륨 비소, 실리콘, 금속, 폴리 이미 드 및 기타 물질의 에칭 및 해시 (eching and ashing) 에 최대 500ß C 온도에서 사용할 수 있습니다. 자동화 된 프로세스는 기판에 손상되지 않고 기판 호환성 및 균일 한 재료 제거를 허용합니다. 깊은 참호, 에칭 패턴, 마이크로 비아 및 장치 기능을 0.25 미크론까지 생산할 수 있습니다. 결론적으로, PLASMATHERM SLR 720은 나노 미터 해상도에서 고품질 및 신뢰할 수있는 부품을 생산할 수있는 고급 etcher/asher입니다. 직관적인 사용자 인터페이스, 자동화된 프로세스, 내장된 안전 (Safety) 및 진단 시스템 (Diagnostic System) 을 통해 사용자는 시간과 비용 효율적인 방식으로 안정적인 결과를 얻을 수 있습니다.