판매용 중고 PLASMATHERM / UNAXIS Shuttleline #9351989

PLASMATHERM/UNAXIS Shuttleline은 마이크로 일렉트로닉스 및 나노 기술 산업에 사용하기위한 혁신적인 습식 습기/애셔입니다. UNAXIS Shuttleline은 단일 소스, 저렴한 웨이퍼 처리 플랫폼을 갖추고 있으며, 선택 가능한 에칭/애싱 레시피와 함께 최대 20 개의 웨이퍼를 동시에 처리할 수 있습니다. 이 제품은 단일 웨이퍼 (single-wafer) 사전 청소 및 사후 청소 스테이션과 처리량 향상을 위해 업그레이드할 수 있는 배치 딥 (batch dip) 사전 청소 및 사후 청소 (post-clean) 시스템 (옵션) 을 포함하는 자체 포함 장치로 설계되었습니다. 공정 챔버 (process chamber) 에는 섭씨 250도까지의 고온 옵션, 다양한 에칭/애싱 레시피를위한 정적 (static) 또는 동적 챔버, 현장 프로세스 제어로 이벤트 모니터링 기능이 있습니다. PLASMATHERM 셔틀라인 (Shuttleline) 은 최대 150mm 웨이퍼 크기를 처리할 수 있는 다양한 웨이퍼 크기와 재료를 처리하도록 설계되었습니다. 셔틀 라인은 또한 "잠금 방지 챔버" 를 통해 처리 시간을 줄이고 처리량을 향상시킵니다. 또한 PLASMATHERM/UNAXIS Shuttleline (PLASMATHERM/UNAXIS Shuttleline) 에는 레시피 관리 장비, 사용자 정의 레시피 저장 및 리콜, 내장 데이터 획득 및 분석 시스템 (이후 분석을 위해 적층 처리 이미지를 캡처 할 수 있음) 이 장착되어 있습니다. UNAXIS 셔틀라인 (UNAXIS Shuttleline) 은 고급 기능 외에도 유연성과 사용 편의성을 조합하여 설계되었으며, 교환이 가능한 웨이퍼 캐리어와 자동화된 진단 기능을 통해 빠르고 쉽게 유지 관리할 수 있습니다. 또한, 이 장치에는 긴급 압력 차단 장치 (Emergency Pressure Shutoff Machine) 와 자동 물 차단 밸브 (Automatic Water Shutoff Valve) 를 포함한 모든 안전 기능이 장착되어 유해 물질 방출 및 장비 손상을 방지합니다. 마지막으로, PLASMATHERM Shuttleline의 개방형 아키텍처는 맞춤형 애플리케이션을 위해 다른 시스템과 쉽게 통합 할 수 있습니다. 전반적으로 Shuttleline 습식 습식/애셔 (asher/asher) 는 마이크로 일렉트로닉스 및 나노 기술 산업에 적합한 놀랍도록 진보되고 신뢰할 수있는 에칭/애싱 장비입니다. 유연성, 안전성, 비용 효율성, 사용 편의성을 결합하면 모든 에칭/애싱 작업에 완벽한 선택이 가능합니다.