판매용 중고 PLASMATHERM / UNAXIS Series 70 #293664981

PLASMATHERM/UNAXIS Series 70은 다양한 기판의 빠르고 정확한 에칭 및 애싱 프로세스를 위해 설계된 비용 효율적인 고급 asher/etcher 장비입니다. 반도체, 전자 부품, 일반 엔지니어링, 의료 기기 산업 등 다양한 산업에 적합합니다. UNAXIS Series 70은 STC (Substrate Temperature Control) 및 CLF (Closed-Loop Feedback) 로 구성됩니다. 이러한 기능을 사용하면 기판 온도의 정확한 제어를 통해 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 정밀도 및 균일성을 높일 수 있습니다. 또한 STC는 에칭 프로세스를 향상시켜 에치 레이트 (etch rate) 와 균일성 (unifority) 에 대한 보다 정확하고 효율적인 제어를 지원합니다. PLASMATHERM Series 70은 고급 에치 및 애쉬 프로세스 기능을 제공합니다. 단일 사이클 동안 최대 80 개의 웨이퍼를 동시에 에칭 및 또는 애싱 할 수 있습니다. 에처/애셔 (etcher/asher) 는 여러 공정 챔버로 설계되어 최대 80 개의 웨이퍼를 동시에 에칭 및/또는 애싱 할 수 있습니다. 챔버에는 자동 웨이퍼 정렬 (automated wafer alignment) 기능이 장착되어 있어, etcher/asher가 원하는 위치로 웨이퍼를 정확하게 이동하고 프로세스 중에 웨이퍼가 회전하지 않도록 합니다. 또한 시리즈 70 (Series 70) 에는 에칭 및/또는 애싱 가공소재의 안전하고, 빠르고, 정확한 로딩을 제공하는 자동 웨이퍼 픽업 시스템이 있습니다. PLASMATHERM/UNAXIS Series 70은 직관적이고 사용자에게 친숙한 Windows 기반 플랫폼도 갖추고 있습니다. 이 플랫폼은 운영자에게 고유한 요구 사항에 따라 에치 (etch) 및 애쉬 (ash) 프로세스를 사용자 정의할 수 있는 기능을 제공합니다. 이 장치에는 프로세스 성능을 최적화하기 위해 설정 (set) 및 조정할 수 있는 여러 매개변수 (parameter) 의 호스트도 포함되어 있습니다. UNAXIS 시리즈 70 (UNAXIS Series 70) 은 높은 수준의 안정성과 내구성으로 설계되었으며, 다양한 업계에서 수요가 많은 애플리케이션에 적합합니다. 견고한 설계 (design) 와 뛰어난 빌드 품질 (build quality) 을 통해 다양한 운영 환경에서 시스템을 지속적으로 사용할 수 있습니다. 또한 PLASMATHERM Series 70은 배치 (PLASMATHERM) 생산이 작거나 Etching 및 Ashing 매개변수가 자주 변경되는 애플리케이션에 적합합니다. 시리즈 70 (Series 70) 은 다양한 기판의 정밀 에칭 및 재싱을 위해 설계된 비용 효율적인 고급 에처/애셔 도구입니다. 이 에셋에는 기판 온도 제어 (Substrate Temperature Control) 및 닫힌 루프 피드백 (Closed-Loop Feedback) 과 같은 다양한 기능이 장착되어 기판 온도의 정밀 제어가 가능합니다. 동시에 최대 80 개의 웨이퍼를 에칭 및/또는 ashing 할 수 있으며 직관적이고 사용자에게 친숙한 Windows 기반 플랫폼을 포함합니다. PLASMATHERM/UNAXIS Series 70 (PLASMATHERM/UNAXIS Series 70) 은 높은 수준의 안정성과 내구성으로 설계되었으며, 다양한 업계의 높은 수요 애플리케이션에 적합합니다.