판매용 중고 PLASMATHERM / UNAXIS Batchtop VII #9123993

PLASMATHERM/UNAXIS Batchtop VII (PLASMATHERM/UNAXIS Batchtop VII) 는 다양한 재료에 대해 정확하고 안정적인 처리 성능을 제공하도록 설계된 고급 에처 및 애셔입니다. 이 에처와 애셔는 금속, 폴리머, 세라믹, 쿼츠 등 모든 재료를 처리 할 수 있으며, 보다 복잡한 멀티 디렉티브 에치를 제공합니다. 이 기계는 다양한 컴퓨터 제어 프로세스 (computer-controlled process) 를 통해 다양한 기판 및 부품에 정확한 기능을 정확하게 가져올 수 있습니다. UNAXIS Batchtop VII는 플라즈마 또는 RIE (Reactive Ion Etching) 를 사용하여 패턴 레이어와 피쳐를 기판에 에칭합니다. 최대 정밀도를 위해 기계는 저압, 높은 균일성, 높은 공정 속도, 높은 선택성을 유지하는 유전체 플라스마를 사용합니다. 이를 통해 정확하게 에칭 된 레이어가 균일하고 매우 상세합니다. 이 기계는 최대의 유연성과 적응성을 위해 설계되었습니다. 쉽게 구성할 수 있으며, 사용자의 요구 사항과 기본 설정에 맞게 사용자 정의할 수 있습니다. PLASMATHERM Batchtop VII에는 빠른 릴리스 구성 요소가 장착되어 있어 유지 관리 및 수리가 용이합니다. 이 기계는 또한 여러 레시피 관리를 지원하여 에치 레시피 (etch recipe) 간에 쉽게 정류 할 수 있습니다. Batchtop VII에는 etcher 및 asher의 안전하고 안전한 작동을 보장하는 안전 기능이 포함되어 있습니다. 이 기계는 ESD 안전으로 설계되었으며 오염을 줄이기 위해 내장 이온화 (ionizing) 팬이 포함되어 있습니다. 이 기계에는 챔버의 올바른 작동을 보장하고 플라스마 생성 (plasma-generated) 필드에 대한 완벽한 보호 기능을 제공하는 연동 시스템도 포함되어 있습니다. 게다가, 기계는 문제가 발생할 때 사용자에게 경고하는 예측 유지 관리 시스템 (Predictive Maintenance System) 을 갖추고 있습니다. 이 기계에는 프로세스를 모니터링하는 내장 센서가 내장되어 있으며, 문제를 해결하는 데 사용할 수 있습니다. 또한, PLASMATHERM/UNAXIS Batchtop VII에는 사용자가 각 작업의 에칭 기록을 검토할 수 있는 실시간 프로세스 추적 기능이 있습니다. 전반적으로 UNAXIS Batchtop VII는 매우 진보된 에처이며, 정확하고 안정적인 에칭 및 애싱 성능을 제공하도록 설계되었습니다. 이 기계는 다양한 재료를 에칭할 수 있으며, 유연한 설계를 통해 유지 관리 및 커스터마이징이 용이합니다 (영문). 이 기계에는 다양한 안전 기능 (Safety Features) 과 예측 유지 관리 시스템 (Predictive Maintenance System) 이 포함되어 있어 안전하고 안전한 작동을 보장합니다.