판매용 중고 PLASMATHERM / UNAXIS 790 #9375333

PLASMATHERM/UNAXIS 790은 고급 패키징 응용 프로그램의 기판 에칭 및 재시를 위해 UNAXIS/PLASMATHERM에서 개발 한 에칭/애서 시스템입니다. 이 장비는 다양한 재료의 에칭 및 재싱을 위해 깊은 반응성 이온 에칭 (reactive ion etching) 또는 드라이 에칭 (dry etching) 기술을 사용하는 소형 벤치 탑 플랫폼입니다. 가장 까다로운 어플리케이션에 대해 높은 에치의 정확도, 반복성, 높은 처리량을 제공하는 장점을 결합한 것입니다. 이 시스템은 다양한 기판을 지원할 수있는 단일 챔버 유닛이며 애셔 (Asher) 및 드라이 에치 (Dry Etch) 를 포함한 다양한 에칭 프로세스에 사용할 수 있습니다. 부식성 가스 전달을 최적화하고 강력한 챔버 내 RF 생성기를 제공하여 처리량이 높고 반복 가능한 에칭/애싱 프로세스를 제공합니다. RF 생성기에 의해 생성 된 플라즈마는 모든 유형의 에치 (etch) 및 애쉬 (ash) 기질에 높은 이온 및 활기 넘치는 입자를 생성하는 데 사용된다. 이 기계는 고압 컨트롤러 (High-Pressure Controller) 와 고급 소프트웨어 도구 (Advanced Software Tool) 로 제어되며 프로세스 매개변수를 모니터링하고 제어하는 데 사용됩니다. 에셋에는 정확하고 반복 가능한 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 을 보장하는 진공 컨트롤러 및 압력 모니터도 있습니다. 마지막으로, 이 모델에는 도어 인터록, 가스 누출 탐지기, 가스 경보 장비 등 다양한 안전 기능이 있습니다. 이 안전 (Safety) 기능은 유해한 연료와 가스의 우발적 방출을 방지함으로써 사용자의 안전을 보장합니다. 전반적으로 UNAXIS 790 은 다양한 고급 패키징 애플리케이션에 사용할 수 있는 다용도, 신뢰성 있는 에칭/애싱 (etching/ashing) 시스템입니다. 가장 까다로운 운영 애플리케이션을 위한 높은 처리량과 반복성을 제공합니다.