판매용 중고 PLASMATHERM / UNAXIS 790 #9157170

PLASMATHERM/UNAXIS 790은 고정밀 에칭 응용 프로그램을 위해 설계된 고급 에처/애셔입니다. 혁신적인 이 툴은 최첨단 기술을 활용하여 탁월한 성능을 제공하는 안정적인 품질을 제공합니다. 강력한 플라즈마 발전기 (Plasma Generator) 는 가변 빔 궤적을 사용하여 최대 UNAXIS 790 W의 플라즈마 전력을 제공 할 수 있으며, 광범위한 접착 특성을 가진 다양한 재료와 기판을 에칭하는 데 이상적입니다. 이 시스템에는 프로세스 주기, 출력 매개변수 설정, 장비 성능 모니터링 등을 프로그래밍할 수 있는 PC 제어 프로세스 관리 소프트웨어가 장착되어 있습니다. 또한, 소프트웨어를 사용하면 연산자가 정확한 가스 도입으로 챔버 온도를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 다양한 프로세스 매개변수 (process parameter) 및 기판 구성을 허용하는 매우 유연한 설계가 특징입니다. PLASMATHERM 790은 25 리터 챔버 용량, 5 Kg 충전 용량 및 최대 400 ° C의 온도에 도달 할 수있는 타워 형 작업 구역을 갖추고 있습니다. 또한, 필요한 매개변수 기술과 프로세스를 모니터링하는 고급 비접촉 제어 (non-contact control) 시스템이 장착되어 있습니다. 이 에처/애셔 (etcher/asher) 는 또한 화학적 에칭, 증착 및 에칭 응용에 탁월한 정밀도를 제공하는 이중 펄스 및 반응성 이온 에칭 공정 제어와 함께 제공됩니다. 또한, 고도로 자동화된 기계는 플라즈마 활성화 (Plasma Activation) 및 자동 가스 순도 모니터링 (Auto Gas Purity Monitoring) 과 같은 여러 자동 시스템을 갖추고 있습니다. 790에는 터치 스크린 운영자 패널 (touch-screen operator panel), 디지털 현미경 (digital microscope), 자동 결함 검사 장치 (automated defect inspection unit) 와 같은 다양한 사용자 친화적 액세서리가 있습니다. 이러한 추가 기능은 완전한 프로세스 제어 및 뛰어난 시스템 성능을 제공합니다. 또한, 이 장치는 24/7 원격 진단, 유지 보수, 온라인 도움말이 포함된 포괄적인 서비스 및 지원 패키지에서 지원됩니다. 즉, 장치가 항상 최고 성능으로 작동하는지 확인합니다. PLASMATHERM/UNAXIS 790은 다양한 재료를 에칭 및 세척하기 위한 완벽한 도구입니다. 고급 기능, 견고한 구성, 사용자 친화적 인 디자인 (design) 은 대규모나 소규모의 연구 프로젝트에서 이루어지든 어떤 에칭 (etching) 이나 애싱 (ashing) 작업에 이상적입니다.