판매용 중고 PLASMATHERM / UNAXIS 790 #9156667

PLASMATHERM/UNAXIS 790은 고급 고성능 병렬 플레이트 로드리스 에처/애셔 장비입니다. 복잡한 표면의 안정적이고 경제적인 에칭을 위해 설계되었습니다. UNAXIS 790은 최대 250mm 직경의 기판을 빠르게 에칭하는 한편, 고정밀 작동을 제공합니다. 정적 전극, 고정 동적 전극 및 독립적 인 스위핑 가능한 전극의 조합으로 구성된 2 개의 독립적 인 에칭 및 애싱 전극이있는 공정 챔버 (process chamber) 가 특징입니다. 이렇게 하면 모든 서피스 형상의 균일한 (uniform) 또는 선택적 (selective) 에칭이 가능한 에치 패턴의 유연성이 제공됩니다. PLASMATHERM 790 은 다양한 원격 제어 옵션을 포함하여 직관적인 자동 제어 시스템을 갖추고 있습니다. 간편한 조립, 운영 및 유지 관리를 위해 설계되었습니다. 소형 발자국이 특징이며, 대부분의 실험실 설정에 맞습니다. 세련되고 고도로 통합된 장치는 뛰어난 반복성을 통해 안정적이고 정확한 에칭을 제공합니다. 790은 4 개의 독립 가스 분포 시스템 (Independent Gas Distribution Systems) 을 사용하여 사용자가 정확한 에칭 제어를 달성하기 위해 다른 가스의 흐름 속도와 혼합을 조정 할 수 있습니다. 이 기계는 RF (radiofrequency), 자외선 (UV) 및 직류 (DC) 플라즈마 소스와 같은 다양한 플라즈마 소스를 쉽게 통합하여 광범위한 에치 기능을 제공 할 수 있습니다. 최적화된 로드 잠금 도구 (load locking tool) 는 프로세스 범용성을 강화하여 기판 교환을 신속하게 수행하고 결과를 재현할 수 있습니다. PLASMATHERM/UNAXIS 790 (PLASMATHERM/UNAXIS 790) 은 또한 광범위한 에칭 및 증착 레시피를 갖추고 있으므로 특정 응용 프로그램의 에칭 매개 변수를 쉽게 사용자 정의할 수 있습니다. 이 자산에는 온도 초과 (over-temper) 및 압력 초과 (over-pressure) 보호 (over-pressure protection) 와 같은 여러 가지 고급 안전 기능이 포함되어 있어 모델이 항상 효율적이고 안전하게 작동하는지 확인합니다. 장비는 장시간 안정된 에칭을 위해 설계되었으며, 에칭 영역 내에서 뛰어난 균일성을 갖습니다. 또한, UNAXIS 790 은 사용자에게 친숙한 통합 데이터 로깅 시스템을 제공하므로 etch 결과를 손쉽게 모니터링할 수 있습니다. 전체적으로 PLASMATHERM 790은 신뢰할 수 있고, 정확하며, 비용 효율적인 에칭 및 애싱 결과가 필요한 실험실에 이상적인 에칭 장치입니다. 이 기계의 고급 설계 기능 (advanced design features) 의 조합, 손쉬운 설치 및 운영, 뛰어난 반복성 및 안전성 (excuting repeatability and safety) 을 통해 모든 실험실을 완벽하게 선택할 수 있습니다.