판매용 중고 PLASMATHERM / UNAXIS 790 Series #9359353

PLASMATHERM/UNAXIS 790 시리즈 etcher/asher는 에칭 및 애싱 응용 프로그램을위한 고급 반도체 처리 장비입니다. 이 에처/애셔 시스템은 최적의 에칭 및 애싱 성능을 위해 이중 주파수 마이크로 웨이브 플라즈마 기술과 고해상도 온도 제어의 조합을 사용합니다. UNAXIS etcher/asher 는 etching 및 ashing 모두에 대해 배치 처리 및 단일 웨이퍼 프로세스를 모두 지원하므로 etching 프로세스와 ashing 프로세스 간에 신속하게 전환할 수 있습니다. 이 장치는 최적 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 성능을 보장하기 위해 고급 압력 제어 머신으로 설계되었습니다. 이 도구는 높은 정확도를 유지하는 데 도움이 될 뿐만 아니라, 프로세스 제어 및 반복성 (repeatability) 도 제공합니다. PLASMATHERM etcher/asher에는 강력한 비활성 가스 펌핑 에셋 (inert gas pumping asset) 이 장착되어 있어 에칭/애싱 프로세스를 최적화하기 위해 챔버 압력 및 온도를 효과적으로 제어 할 수 있습니다. 이 모델은 또한 백그라운드 가스 (background gas) 의 구축을 최소화함으로써 프로세스의 성능을 향상시킵니다. 이 장비에는 에처/애셔 (etcher/asher) 내에서 정확하게 제어되는 환경을 유지하고 에칭 및 애싱 성능을 향상시키기 위해 온도 컨트롤러 (temperature controller) 가 장착되어 있습니다. PLASMATHERM/UNAXIS etcher/asher는 각 에칭 및 애싱 프로세스에 대한 정확한 결과를 보장하기 위해 사용자 정의 가능한 종점 제어 (EPC) 를 위해 설계되었습니다. EPC 를 통해 사용자는 에칭 시간 (etching time), 온도 (temperature), 각 프로세스의 전원 수준 (power level) 과 같은 매개변수를 설정할 수 있습니다. 이를 통해 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 성능을 보다 효과적으로 제어하고 프로세스 반복성을 향상시킬 수 있습니다. 유낙시스 에처 (UNAXIS etcher )/애셔 (asher) 는 인원의 안전을 보장하기 위해 인터 록 시스템 (Interlock System) 과 같은 고급 안전 기능과 장치의 무단 작동을 방지하기위한 도어 잠금 (door lockout) 을 제공합니다. 이 기계는 "사고 '와" 프로세스 성능 저하' 를 방지하기 위해 반도체 (반도체) 업계의 최고 안전기준을 충족시키도록 설계됐다. 전반적으로 UNAXIS 790 시리즈는 고성능 에칭 (etcher) 및 애싱 (ashing) 결과를 제공하도록 설계된 고급 에처/애셔 도구입니다. 이 자산은 정확하고 재현 가능한 결과, 광범위한 종단점 제어 기능, 고급 안전 기능 (Advanced Safety Features) 을 제공하도록 설계되어 운영 및 연구 기반 프로세싱에 이상적인 선택입니다.