판매용 중고 PLASMATHERM / UNAXIS 790 Series #293695530

PLASMATHERM/UNAXIS 790 시리즈는 집적 회로의 일괄 처리를 위해 설계된 최첨단 플라즈마 기반 에처/애셔입니다. UNAXIS 790 시리즈는 자동차, 디스플레이, 산업 제어, 의료, 3D 인쇄 및 가전 제품과 같은 광범위한 산업을위한 마이크로 구조 및 박막 재료를 에칭하기위한 뛰어난 사이클 타임 최적화 생산 기능을 제공하도록 설계되었습니다. PLASMATHERM 790 시리즈는 93cm x 61cm의 대형 챔버 크기를 자랑하며 최대 8 인치 크기의 기판을 최대 4 개 보유 할 수 있습니다. 790 시리즈의 유연성을 통해 etcher를 사용하여 여러 금속, 반도체 및 폴리머 (예: 알루미늄, 구리, 갈륨 비소, 폴리 이마이드, 폴리 실리콘 및 실리콘) 의 다양한 재료를 처리 할 수 있습니다. 790은 두께가 1mm에서 50micron 사이의 기판을 처리 할 수 있습니다. PLASMATHERM/UNAXIS 790 시리즈 (PLASMATHERM/UNAXIS 790 Series) 는 기판의 빠른 교환을위한 로드 잠금 장비와 여러 기판의 균일 한 에칭 프로세스를 보장하도록 설계된 기판 테이블을 통해 확장된 기능과 빠른 에치 속도를 제공합니다. UNAXIS 790 시리즈는 최대 150 개의 에치 레시피를 처리하여 광범위한 에칭, 애싱, 스트리핑 기능을 제공하며, 에치 레시피 (etch recipe) 간의 오염 수준을 줄여주는 자동화된 내부 벽 클리닝 시스템을 제공합니다. PLASMATHERM 790 시리즈 (PLASMATHERM 790 Series) 가 제공하는 탁월한 제어 및 정밀도는 운영자가 고정밀도 게이지를 사용하여 에치 프로세스를 실시간으로 모니터링하여 압력, 챔버 온도 및 RF 전력, 실시간 프로세스 레시피 제어. 또한 790 시리즈에는 입자 오염을 줄이고 일관되고 신뢰할 수있는 결과를 보장하기 위해 고급 절연 제어 장치 (advanced insulation control unit) 가 있습니다. PLASMATHERM/UNAXIS 790 시리즈 (PLASMATHERM/UNAXIS 790 Series) 의 유지 관리 요구 사항은 기계가 최대 여과 효율성을 보장하기 위해 보조 대피 펌프가 장착 된 고성능 여과 도구로 설계되므로 최소화됩니다. 정확한 안전 자산으로, 모든 오작동을 감지 할 수 있는 UNAXIS 790 시리즈는 etch 프로세스를 안전하고 안정적으로 유지합니다. PLASMATHERM 790 시리즈 (PLASMATHERM 790 Series) 는 생산에 필요한 광범위한 기능, 우수한 품질, 빠른 주기 시간을 제공하는 차세대 에칭 모델입니다. 최신 플라즈마 (Plasma) 기술을 사용하여 790 은 프로세스 제어 및 유연성을 향상시키는 한편, 유지 관리 요구 사항이 낮아 광범위한 업종을 위한 독보적인 에칭 (etching) 솔루션입니다.