판매용 중고 PLASMATHERM / UNAXIS 7000 (EMS) #9258753

UNAXIS 7000 (EMS) 은 반도체 산업의 박막 제작에 사용되는 고급 에처 및 애셔입니다. 업계 최고의 처리량을 제공하여 효율성을 극대화합니다. PLASMATHERM 7000 의 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스는 매우 정확하고 일관성이 있으므로 전자 부품 생산에 이상적입니다. 강력한 진공 에칭 챔버 (Evuum Etching Chamber) 와 재싱용 가열 코일 (Heating Coil) 을 빠르고 깨끗하게 조합하여 고성능 기능을 제공합니다. 듀얼 프로세스 ETCH-ASH (Dual Process ETCH-ASH) 장비는 고급 프로세스 제어 기능을 제공하며, 정확성과 정확성을 위해 다양한 고급 기술 측정 기능을 제공합니다. 압력 조절이 정확하여 시스템이 균일 한 결과를 얻을 수 있습니다. 이 프로세스는 대상 제품의 요구 사항에 따라 개별 레시피에 대해 프로그래밍 될 수 있습니다. 이 장치의 고성능 기능, 내구성 야금, 효율적인 열 관리 머신 (thermal management machine) 도 장기적으로 사용할 수 있습니다. PLASMATHERM/UNAXIS 7000 (EMS) 은 또한 정확도가 높은 정밀 동작 제어를 위해 고급 로봇을 갖추고 있습니다. 이 도구에는 여러 개의 로봇 슬롯을 사용하여 레시피 (레시피) 를 사용자 정의하여 처리량이 가장 높은 품질 결과를 얻을 수 있습니다. 이 자산에는 프로세스 제어를 강화하기 위해 부품을 자동으로 감지할 수있는 통합 비전 (Integrated Vision) 모델도 있습니다. 에칭 성능을 쉽게 제어하기 위해 고급 가스 전달 시스템이 사용됩니다. 이 장비는 특정 프로세스에 대해 다양한 가스 흐름을 제공하도록 설계되었습니다. 또한 플라즈마 공정을 제어하기 위한 3면 RF 생성기와 조작자 편의를 위한 원격 진단 패널이 있습니다. 시스템에는 유지 보수 또는 수리 (maintenance or repair) 가 필요할 때 운영자에게 경고하기 위한 알림 장치가 설치되어 있습니다. 안전은이 기계의 디자인에 내장되어 있습니다. 이 도구에는 무단 액세스를 방지하기위한 안전 연동이 있습니다. 또한 RF sheilding을 통해 사업자의 방사선 안전 및 보호를 보장합니다. 이 자산은 소형화되고 깨끗하게 설계되었으며, 움직이는 부품이 최소화되고 전력 소비가 적습니다. 전반적으로 UNAXIS 7000 (EMS) 은 강력한 성능, 정밀도 및 제어 기능을 제공하는 강력한 에처 및 애셔입니다. 고급 기능과 자동화 프로세스 (automated process) 는 효율성이 높고 안정적이며, 안전 기능은 운영자가 제대로 보호되는지 확인합니다. 정밀한 에칭 (etching) 과 애싱 (ashing) 이 필요한 전자 부품 생산에 적합하다.