판매용 중고 PLASMATHERM / UNAXIS 700 #9096334
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ID: 9096334
Reactive Ion Etcher (RIE)
Pressure controller: PRM-1
RF generator supply: HFS 500
Mass flow control: MFC-5
Available options:
LH D60 WS/WA 251
Blower 179 CFM blower package
Vacuum hose and fittings.
PLASMATHERM/UNAXIS 700은 매우 정확하고 고급 에칭 및 애싱 작동이 가능한 고급 etcher/asher 장비입니다. 그것 은 금속, 중합체, 유기 물질 을 산소, "아르곤 ', 질소 및 염소 탄화수소 의" 플라즈마' 에 노출 시켜서, 그 물질 을 급속도 로 에치 하고 재 로 분출 하는 표면 에 반응성 있는 종 을 만든다. 이 시스템은 단일 축, 대화식 (interactive), 다중 축 동작 시스템 등 다양한 공정 도구를 사용하여 정확한 에칭 및 애싱을 위해 고정밀 다중 축 제어를 사용합니다. 이 장치에는 PLC (Programmable Logic Controller) 와 사용자 인터페이스 제어판 (Control Panel) 이 장착되어 있어 에칭 및 애싱 매개변수의 프로그래밍 및 사용자 정의와 복잡한 산업 생산 공정에서 장치를 사용할 수 있습니다. PLC 는 사용자가 쉽게 액세스할 수 있으며, 맞춤식 프로그래밍, 진단, 프로세스 데이터 보기를 지원합니다. 사용자 인터페이스에는 수동 (manual) 및 반자동 (semi-automatic) 설정이 미리 로드되어 있으며, 여러 매개변수를 쉽게 설정할 수 있는 자동 시퀀스 기능도 포함되어 있습니다. 이 장치는 오픈 아키텍처 (open architecture) 하드웨어와 소프트웨어 플랫폼을 기반으로 구축되었으며, 모든 고객의 요구를 충족할 수 있는 프로세스 유연성과 기능을 제공합니다. 개방형 아키텍처는 고속 프로세스 제어, 자동 진단, 제조 인텔리전스 (Manufacturing Intelligence) 기능 등 최신 기술을 통합할 수 있습니다. 이 아키텍처에는 etcher/asher 작업을 지원하는 강력하고 확장 가능한 구성 요소 기반 소프트웨어 제품군도 포함되어 있습니다. UNAXIS 700에는 고급 2 단계 에치/애쉬 머신 (etch/ash machine) 이 제공되며, 이 머신은 triboelecricized 마스크를 사용하여 플라즈마 흐름을 지시하여 1 분 단위의 정확한 에칭 및 재싱을 허용합니다. 2단계 도구를 사용하면 각 프로세스 단계 (사전 에칭, 에칭, 재싱 포함) 를 개별화된 설정에서 수행할 수 있으므로 정확하고 정확한 결과를 얻을 수 있습니다. 또한, PLASMATHERM 700 은 안전하고 안정적인 작동을 보장하는 고급 보호 시스템, 뛰어난 품질 관리 기능을 제공합니다. 여기에는 혁신적인 자기 청소 메커니즘이 포함되며, 이는 챔버에서 미립자 축적을 제거하여 오염을 방지합니다. 더 큰 품질을 위해, 장치는 관성 기능을 갖추고 있으며, 더 순수한 결과를 위해 에치/애쉬 챔버 (etch/ash chamber) 에서 공기를 제외 할 수 있습니다. 전반적으로, 700 개는 산업 에칭 또는 애싱 요구를 충족시킬 수있는 유연성과 정확성을 제공하는 강력하고 고급 에처/애셔 에셋 (etcher/asher asset) 입니다. 개방형 아키텍처, 프로그래머블 로직 컨트롤러, 2 단계 에치/애쉬 (etch/ash) 모델 및 고급 보호 시스템의 조합으로, 작업을 위해 안정적이고 효율적인 도구입니다.
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