판매용 중고 PLASMATHERM / UNAXIS 700 Series #9201877

ID: 9201877
Wafer batch plasma etcher deposition.
PLASMATHERM/UNAXIS 700 시리즈는 정확한 제어를 통해 다양한 전기, 기계, 전자 부품을 만들도록 설계된 etcher 및 asher 장비입니다. 구리, 텅스텐, 티타늄 등 고급 재료의 에칭에 최적화되어 있습니다. VPP (Vacuum Pressure Pulsing) 에칭 기술을 활용하여, 이 시스템은 높은 에칭 효율 수준을 제공하여 높은 품질의 결과를 제공합니다. UNAXIS 700 시리즈는 전자 부품의 생산/연구/개발을 위한 효율적인 솔루션으로, 이 장치는 미리 정해진 런타임, 온도, 압력 및 가스 유형에 따라 표준 프로세스 제어 기능을 제공합니다. 프로세스 설정 및 모니터링을 지원하는 사용하기 쉬운 사용자 인터페이스가 제공됩니다. 이 기계는 또한 다기능 프로세스 모니터 (multi-function process monitor) 를 갖추고 있으며, 모든 적절한 데이터를 실시간으로 표시하며, 실행 중에 매개변수를 조정할 수 있습니다. 또한 프로세스 레시피도 포함되며, 정확한 제어를 위해 모든 매개변수를 쉽게 조정할 수 있습니다. 이 도구는 개별 레시피를 선택하는 수동 제어 (manual control) 와 다양한 결과를 가진 여러 컴포넌트를 에칭할 수있는 여러 가지 사전 설정 프로그램 (Preset Program) 을 제공합니다. ARO (Automatic Recipe Optimization) 기능을 사용하면 에칭 시간을 단축하여 효율성을 극대화할 수 있습니다. 또한 각 레시피에 대한 최적 매개변수 (optimal parameters) 를 선택하여 제품 품질을 향상시키는 데도 도움이 됩니다. GBM (Gas Blend Management) 기능은 에칭 챔버에 정확한 가스 배달을 보장하여 일관성 있고 고품질 결과를 제공합니다. PLASMATHERM 700 시리즈는 안정적이고 안정적인 작동을 위해 설계되었습니다. 이 자산은 ISO 9001:2015 표준에 맞게 설계되었으며 CE, UL 및 CSA를 포함한 다양한 안전 지침 및 승인 표준을 충족합니다. 이 모델은 강력한 진공 펌프 (vacuum pump) 를 통해 깨끗한 챔버 작동을 보장하고, 민감한 부품을 보호하는 고급 열 관리 기술을 제공합니다. 이 장비는 또한 TCO (총소유비용) 를 절감할 수 있도록 설계되었으며, 간편한 유지 관리 프로토콜과 더 작은 설치 공간 (설치 공간) 을 제공하여 실험실이나 프로덕션 환경 내에 쉽게 배치할 수 있습니다. 700 시리즈는 고급 전자 부품 (Advanced Electronic Component) 의 생산 및 연구를 위해 효율적이고 다양한 에칭 및 애싱 시스템을 제공합니다. 강력한 제어 기능, 사용이 간편한 사용자 인터페이스 (User Interface), 고급 프로세스 레시피 (Process Recipe) 를 통해 정확한 작업을 수행할 수 있습니다. 최소한의 유지 보수 작업과 적은 설치 공간으로 비용 효율적인 (cost-efficient) 방식으로 안정적인 결과를 얻을 수 있도록 설계되었습니다.
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