판매용 중고 PLASMATHERM SLR/ECR #9123962

PLASMATHERM SLR/ECR은 반도체 제조 공정의 정확성과 반복성을 위해 설계된 에처/애셔입니다. 다양한 플라즈마 프로세스를위한 장비 및 솔루션 제공 업체 인 PLASMATHERM (PLASMATHERM) 이 생산합니다. SLR/ECR은 다양한 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스에 사용되며, 단일 웨이퍼 (single-wafer) 와 배치 처리 (batch processing) 의 조합 덕분에 오염이 적은 최적의 에칭 및 애싱 성능을 갖습니다. PLASMATHERM SLR/ECR은 다양한 형태 및 재료의 다양한 웨이퍼 크기에 적합하며, 다양한 작동 온도를 제공합니다. 최대 1300 ° C 에처 (etcher )/애셔 (asher) 는 정밀 모션 장비와 원격 비전 시스템을 갖추고 있으며, 사용자는 프로세스를 실시간으로 모니터링하고 필요한 경우 조정할 수 있습니다. 원격 비전 (Remote Vision) 장치는 원격 제어 인터페이스 (Remote Control Interface) 를 제공하여 원격 위치에서 에칭 및 애싱 프로세스를 모니터링하고 제어할 수 있습니다. SLR/ECR (Advanced Gas Delivery Machine) 은 정확하고 안정적인 흐름 및 흐름 믹싱을 제공하여 정확하고 반복 가능한 에칭 및 애싱 결과를 제공합니다. 이 도구는 또한 일련의 임베디드 온도 센서를 제공하여 일관된 작동 조건을 보장합니다. 온도 센서는 또한 처리 챔버 (Processing Chamber) 내부의 열 조건과 관련하여 사용자에게 빠른 피드백을 제공하고 공정의 과열 (over-heating) 또는 냉각 (cooling) 을 방지합니다. 또한, PLASMATHERM SLR/ECR에는 처리 중에 사용자와 구성 요소를 모두 보호하기 위해 다양한 안전 기능이 제공됩니다. 안전 연동 장치 (Safety Interlock Mechanism) 를 탑재하여 실수로 유해 물질에 노출되는 것을 방지하는 반면, 원격 비전 (Remote Vision) 자산은 날카로운 움직임이나 압력의 갑작스런 변화에 대해 모니터링됩니다. 보호 덮개가있는 UV 흡수 창은 잠재적 인 자외선 방사선으로부터 사용자를 보호합니다. PLASMATHERM SLR/ECR (PLASMATHERM SLR/ECR) 은 반도체 제조 공정에서 가장 높은 정밀도 및 반복성 표준을 충족하도록 설계되었으며, 다양한 재료 및 웨이퍼 크기의 에칭 및 애싱 프로세스에 이상적입니다. 첨단 "가스 '배달 모델, 원격 시력 장비, 온도" 센서' 및 안전 기능 을 통해 산업 과 연구 "응용프로그램 '모두 에 훌륭 한 선택 을 할 수 있다.